Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/О-42
Автор(ы) : Одиноков В., Павлов Г.
Заглавие : Специализированное оборудование для исследования и реализации новых технологий
Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 3. - С. 14-18: рис., табл., фото. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электропечь--вакуумная установка
Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) основан в 1962 году. Входит в бизнес направление "Микроэлектронные решения" ОАО "СИТРОНИКС". Предприятие специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition - PECVD), а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и восстановления, газофазного осаждения, отжига, в том числе быстрого термического
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/О-42
Автор(ы) : Одиноков В., Павлов Г.
Заглавие : Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок "МАГНА ТМ -200-01"
Место публикации : Наноиндустрия. - 2008. - № 4. - С. 10-12: рис., табл. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578
Примечания : Библиогр.: с. 12 (2 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): распылительные устройства--датчики давления
Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и отжига. Приоритетным напрвлением деятельности являются разработки оборудования для реализации новых технологических процессов, применяемых в наноэлектронике, микромеханике, при синтезе наноматериалов
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 87
Автор(ы) : Жигалина О. М., Воротилов К. А., Хмеленин Д. Н., Сигов А. С.
Заглавие : Структурные особенности пленок цирконата-титаната свинца, сформированных методом химического осаждения из растворов с различным содержанием свинца
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 17-22: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 22 (18 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроструктура--фазовый состав--пленки
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/К 89
Автор(ы) : Куковицкий Е. Ф., Львов С. Г.
Заглавие : Углеродные нанотрубные автокатоды на никелевых кернах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6. - С. 2-5: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 5 (7 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанотрубки углеродные--автоэмиттеры--керны никелевые--метод cvd
Аннотация: Разработана недорогая лабораторная технология получения углеродных нанотрубных автоэмиттеров на никелевых кернах небольшого диаметра. Использован нетрадиционный метод CVD для выращивания нанотрубок. Рассмотрены основные процессы в объеме CVD-реактора, в результате которых происходит формирование нанотрубного слоя на поверхности массивного каталитически активного металла. Экспериментально и с помощью моделирования установлена неравномерность осаждения каталитического углерода по площади керна. Найден и реализован метод получения однородных нанотрубных слоев с идентичными автоэмиссионными характеристиками
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 32
Автор(ы) : Серегин Д. С.
Заглавие : Влияние температуры кристаллизации на электрофизические свойства пленок цтс
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7. - С. 19-22: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с.22 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): золь-гель--пленки--сегнетоэлектрик
Аннотация: Исследовано влияние температуры отжига на электрофизические свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов. Образцы, кристаллизованные при температурах 600- 700 °C, имеют характерные для сегнетоэлектриков петли гистерезиса и ВФХ, при этом с ростом температуры отжига наблюдается снижение остаточной поляризации, прямоугольности петель гистерезиса, уменьшение токов утечки и некоторое возрастание электрической прочности
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Е 30
Автор(ы) : Егоров Г. П., Волков А. А., Устюжанинов А. Л.
Заглавие : Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78: табл., рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 78 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопленки in-situ--метод измерения внутренних напряжений--пластина консольно закрепленная
Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 38
Автор(ы) : Алехин А. П., Болейко Г. М., Гудкова С. А., Маркеев А. М., Сигарев А. А., Токнова В. Ф., Кириленко А. Г., Лапшин Р. В., Козлов Е. Н., Тетюхин Д. В.
Заглавие : Синтез биосовместимых поверхностей методами нанотехнологии
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 9-10. - С. 128-136: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 136 (28 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): синтез биосовместимых поверхностей --метод импульсного ионно-плазменного нанесения углеродного покрытия --полиметилметакрилат (пмма)
Аннотация: Исследовано влияние низкотемпературной (20-60 °С) модификации поверхности полимеров (полиэтилен низкой плотности (ПЭНП), полиуретан (ПУ)) методом импульсного ионно-плазменного нанесения углеродного покрытия на биосовместимые свойства перечисленных полимеров. Определены оптимальные параметры технологического режима для формирования на поверхности материалов мозаичных углеродных наноструктур толщиной 0.3-15 нм с размерами кластеров 10 - 500 нм. Подобные структуры обладали повышенными гемо-совместимыми свойствами. Для исследования были использованы сканирующая электронная и атомно-силовая микроскопия, рамановская спектроскопия. Исследовано воздействие на морфологию поверхности полиметилметакрилата (ПММА) фотонного излучения спектра криптоновой лампы с длиной волны / = 123.6 нм и спектра синхротронного излучения («белый» пучок), предварительно обработанную кислородной высокочастотной плазмой. В ходе фотонной обработки варьировались: продолжительность воздействия (от единиц до десятков минут) и остаточное давление воздуха в рабочей камере (2 Па и 100 Па). Разработанная методика сглаживания микро- и нанорельефа может быть использована для улучшения биосовместимости исходных поверхностей ПММА. Разработаны основы двухстадийной технологии создания биоактивных поверхностей на титановых носителях, заключающейся в химической обработке поверхностей для создания микрорельефа (2-3 мкм) и в нанесении строго контролируемого по химическому составу и толщине (10-60 нм) покрытия диоксида титана. В работе проведены исследования, направленные на выявление влияния механизмов и технологических параметров процессов атомно-слоевого осаждения TiO2 на химический состав, тип кристаллической структуры, равномерность нанесения на поверхности сложной формы (конформность) и биоактивность модифицированных поверхностей
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Ф 79
Автор(ы) : Антипов А. А., Аракелян С. М., Кутровская С. В., Кучерик А. О., Ногтев Д. С., Прокошев В. Г.
Заглавие : Формирование протяженных массивов наноструктур при осаждении металлических наночастиц из коллоидных растворов импульсно-периодическим лазерным излучением
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 4-8: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 8 (12 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Предложен способ формирования наноструктурированных покрытий на основе технологии осаждения металлических наночастиц из коллоидных систем при воздействии импульсно-периодического лазерного излучения. Получены протяженные массивы наноструктур. С применением методов фрактальной геометрии определены структурные особенности сформировавшихся слоев. Предложена модель фрактальной диффузии для наблюдаемых структур
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/И 88
Автор(ы) : Федоров П. П., Маякова М. Н., Кузнецов С. В., Воронов В. В., Осико В. В., Ермаков Р. П., Гонтарь И. В., Тимофеев А. А., Исхакова Л. Д.
Заглавие : Исследование соосаждения фторидов бария и висмута из водных растворов: нанохимические эффекты
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 3-4. - С. 56-60: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 60 (47 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Методом соосаждения из водных растворов проведено исследование системы BaF2-BiF3. Обнаружена область осаждения однофазных бескислородных порошков (относительная атомная доля висмута в исходном растворе 0.35-0.43). Выделяющаяся флюоритоподобная фаза кубической сингонии согласно микрозондовому анализу отвечает составу BaBiF5. Обнаружено наличие кислорода в образцах, осажденных из растворов с высоким содержанием висмута, что свидетельствует о снижении температуры гидролиза BiF3 по сравнению с объемными образцами и протекании этого процесса при комнатной температуре. Методами СЭМ и ПЭМ продемонстрировано когерентное срастание наночастиц с образованием монокристаллов сложной неограненной формы
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 74
Автор(ы) : Аракелян С. М., Кутровская С. В., Кучерик А. О., Троицкий Д. П., Прокошев В. Г., Быков В. А., Леесмент С. И.
Заглавие : Модификация зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 4-8: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 8 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований по модификации зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) путем осаждения на поверхность балки кантилевера вольфрамового острия методом фокусированных ионных пучков (ФИП) с применением высокоселективной газовой химии. Показано, что полученные методом ФИП зонды длиной 5 мкм и радиусом закругления порядка 50 нм позволяют повысить точность измерений тестовых объектов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления и модификации зондовых датчиков-кантилеверов АСМ, а также при исследовании структур микро-и наносистемной техники
Найти похожие

11.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 38
Автор(ы) : Бурдовицин В. А., Медовник А. В., Окс Е. М.
Заглавие : Синтез углеродных наноструктур электронно-лучевым испарением графита
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 3-4. - С. 103-104: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 104 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Представлены результаты испарения графита электронным пучком. Измерена скорость испарения как функция мощности пучка и продолжительности электронной бомбардировки. Зависимость скорости испарения от мощности пучка носит пороговый характер. Минимальная мощность, с которой начинается испарение, в наших экспериментах равнялась 600 Вт. Скорость испарения составила 0.3-0.4 мг/с. Скорость осаждения углеродных слоев на подложках, размещенных в 40-50 мм от графитовой мишени, была 0.5-1.0 мкм/мин. Использование мишени, содержащей никель в качестве катализатора, не вносит существенных изменений в скорости испарения и осаждения. Спектры комбинационного рассеяния (КР) показали присутствие углеродных нанотрубок в осажденных слоях
Найти похожие

12.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Л 17
Автор(ы) : Антипов А. А., Аракелян С. М., Кутровская С. В., Кучерик А. О., Осипов А. В., Прокошев В. Г., Щекин А. А.
Заглавие : Лазерный синтез углеродных нановолокон и нанокластеров
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 5-6. - С. 64-68: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 68 (25 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: В данной работе представлены результаты по лазерному синтезу углеродных наноматериалов в процессе осаждения паров углерода. Особенностью применяемого метода является воздействие на углеродные образцы в присутствии атмосферного воздуха при наличии внешних полей. Проведены эксперименты по лазерному воздействию на углеродные мишени в присутствии постоянного электрического и неоднородного магнитного поля. Продемонстрированы возможности получения углеродных микро- и нановолокон при осаждении частиц в электрическом поле и углеродных микро- и нанокластеров при осаждении частиц в магнитном поле. Показано, что изменение материала мишени и режимов воздействия позволяет изменять структуру осажденного слоя
Найти похожие

13.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 38
Автор(ы) : Григорьев Т. Е., Саид-Галиев Э. Е., Николаев А. Ю., Кондратенко М. С., Эльманович И. В., Галлямов М. О., Хохлов А. Р.
Заглавие : Синтез электрокатализаторов для топливных элементов в среде сверхкритического диоксида углерода
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 5-6. - С. 69-78: табл., рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 78 (33 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Mы использовали метод прямого осаждения металлоорганического прекурсора из раствора в сверхкритическом диоксиде углерода на поверхность дисперсной углеродной подложки с последующим восстановлением для получения ряда электрокаталитических материалов в форме частиц наноразмерной платины на дисперсном углеродном носителе (углеродная сажа Vulcan XC72r, ацетиленовая сажа, нанотрубки). Синтезированные материалы стабильно характеризовались монодисперсным распределением платиновых частиц по размерам со средним диаметром 2-3 нм, независимо от природы подложки, а также однородным распределением по поверхности носителя. Полученные электрокатализаторы были протестированы в составе работающего катодного электрода фосфорнокислотного топливного элемента с полибензимидазольной матрицей. При этом мембранно-электродный блок, собранный с таким катодом, показал вольтамперные характеристики, не уступающие реперным характеристикам, достигаемым с электродами производства компании BASF
Найти похожие

14.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 61
Автор(ы) : Годовицын И. В., Амеличев В. В., Сауров А. Н., Генералов С. С., Гаврилов Р. О.
Заглавие : Миниатюрные тензорезистивные преобразователи давления: итоги двадцатипятилетия
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 29-41: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 41 (31 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Проведен анализ разработок в области миниатюрных тензорезистивных преобразователей давления с 1985 года по настоящее время. Показано основное отличие миниатюрных преобразователей давления от традиционных - формирование мембраны с помощью осаждения - и вытекающие из этого конструктивно-технологические особенности миниатюрных преобразователей. Проанализированы достоинства и недостатки миниатюрных преобразователей давления. Даны характерные примеры применений миниатюрных преобразователей давления. Показана необходимость увеличения чувствительности миниатюрных преобразователей давления для повышения их привлекательности как средства измерения
Найти похожие

15.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 58
Автор(ы) : Кириллов А. И., Объедков А. М., Егоров В. А., Домрачев Г. А., Каверин Б. С., Семенов Н. М., Лопатина Т. И., Гусев С. А. , Мансфельд А. Д.
Заглавие : Создание с помощью MOCVD-технологии наноструктурированных композиционных материалов на основе многостенных углеродных нанотрубок
Место публикации : Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 72-78: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр. : с. 78 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Разработаны установки и MOCVD-технология получения и выделения свободных, выровненных по толщине макроцилиндров со стенками из радиально ориентированных МУНТ. Обнаружено, что скорость осаждения МУНТ практически не изменяется в течение времени осаждения. Получены образцы наноструктурированных композитов на основе макроцилиндров со стенками из радиально ориентированных МУНТ с покрытием пиролитического хрома и пиролитического вольфрама, карбидов и оксидов на их основе. Высокотемпературный отжиг полученных композитов приводит к образованию наноструктурированных оксидов металлов, сохраняющих форму темплата
Найти похожие

16.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 19
Автор(ы) : Васильев В. А., Чернов П. С.
Заглавие : Диффузионная модель роста и морфология поверхностей тонких пленок материалов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 11-16: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 16 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Дан обзор моделей роста поверхностей материалов. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и учитывающая диффузию частиц. Она позволяет исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Представлены результаты сравнения экспериментальных данных, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии, и теоретических, полученных путем моделирования с использованием предложенной диффузионной модели
Найти похожие

17.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 38
Автор(ы) : Андреев М. Н., Ребров А. К., Сафонов А. И., Тимошенко Н. И.
Заглавие : Синтез серебряных наночастиц газоструйным методом
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 9-10. - С. 85-88: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 88 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Приведены результаты исследований газоструйного осаждения наночастиц серебра с характерным размером от единиц до десятков нанометров при использовании специально разработанного термического источника. Представлены характеристики термического источника в виде зависимостей размеров наночастиц от температуры и давления в источнике. Установлены области газодинамического тракта, ответственные за образование кластеров
Найти похожие

18.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Н 16
Автор(ы) : Нагель М. Ю., Мартыненко Ю. В.
Заглавие : Моделирование роста осаждаемых пленок
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 9-10. - С. 104-108: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 108 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Описан численный код, позволяющий моделировать процесс образования осаждаемых пленок, а также приведены результаты расчета размера зерна поликристаллической пленки в зависимости от параметров осаждения. Рассмотрены процессы, происходящие на поверхности подложки: движение адсорбированных атомов (адатомов) по поверхности, их объединение в кластеры, рост кластеров, приводящий к образованию поликристалла. Показано, что со временем осаждения концентрация кластеров достигает насыщения С, а размер зерен образующегося в последующем поликристалла равен d = C-1/2. Концентрация кластеров растет при увеличении потока атомов на подложку и при уменьшении коэффициента диффузии атомов по поверхности D. Причем размер зерна поликристалла зависит от безразмерного параметра ф = qa4/D (а - атомный размер, q - поток атомов на подложку), как d=ф -1/4-ф -1/6. Концентрация кластеров растет (а размер зерен убывает) при затрудненном образовании кластеров: при убывании сечения захвата атомов кластерами и атомами, при наличии силы отталкивания атомов друг от друга и от кластеров
Найти похожие

19.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/И 88
Автор(ы) : Галперин В. А., Павлов А. А., Поломошнов С. А., Шаман Ю. П., Шаманаев А. А.
Заглавие : Исследование электрофизических характеристик структур на основе топологических массивов углеродных нанотрубок
Место публикации : Нано- и микросистемная техника для лазерной индустрии . - 2011. - № 12. - С. 2-5: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 5 (8 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Резистивные элементы на основе углеродных нанотрубок (УНТ) могут выступать в качестве чувствительных элементов обширного спектра различных датчиков физических величин и химических сенсоров. Однако создание элементов на основе топологических массивов УНТ с воспроизводимыми геометрическими и электрофизическими параметрами остается сложной научнотехнической задачей. В работе рассматриваются результаты исследований в области синтеза топологических массивов УНТ с использованием технологии "совмещенного катализатора". Применение малых концентраций инжектируемого металл-органического соединения в растворе с углеводородами для процесса химического парофазного осаждения УНТ в сочетании с использованием сверхтонких пленок каталитических металлов позволяет минимизировать недостатки ранее разработанных методик синтеза УНТ. В настоящей работе в рамках развития данной методики изучается влияние размерных эффектов топологических элементов различной формы на электрофизические характеристики массивов УНТ
Найти похожие

20.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 35
Автор(ы) : Вернер В. Д., Луканов Н. М., Сауров А. Н.
Заглавие : Принципы конструирования биполярных СВЧ структур с предельно узкими эмиттерными областями
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 13-16: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 16 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Приведены конструктивные и технологические особенности формирования биполярных СВЧ самосовмещенных и полностью самосовмещенных транзисторных структур на кремнии. Эти структуры с предельно узкими эмиттерными областями предназначены для создания монолитных малошумящих широкополосных усилителей и радиочастотных ИС с рабочей частотой 10...160 ГГц. Разработан новый метод осаждения (или селективного наращивания) и анизотропного травления различных слоев с использованием исходной одной (вертикальной или наклонной) плоскости, задающей опорный рельеф самоформирования для всей структуры
Найти похожие

1-20 21-41 41-41

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)