Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАСТИНЫ<.>) |
Общее количество найденных документов : 17
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Современные тенденции развития микросистемной техники/В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника , 2008. т.№ 8.-С.2-6
|
2.
| Тарнавский А. Г. Влияние защитных масок при отжиге кремниевой пластины на формирование наноразмерных примесей фосфора/Г. А. Тарановский , В. С. Анищик, А. Г. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника , 2008. т.№ 3.-С.57-65
|
3.
| Пивоненков Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр /Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника , 2010. т.№ 11.-С.43-47
|
4.
| Егоров Г. П. Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ /Г. П. Егоров, А. А. Волков, А. Л. Устюжанинов // Российские нанотехнологии, 2010. т.Т. 5,N № 7-8 .-С.74-78
|
5.
| Тарнавский Г. А. Легирование наноколонн рельефа поверхности пластины кремния /Г. А. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника , 2010. т.№ 6 .-С.20-24
|
6.
| Амеличев В. В. Перспективная технология изготовления высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов /В. В. Амеличев, И. В. Годовицын, Д. А. Сайкин // Нано- и микросистемная техника , 2011. т.№ 4.-С.39-45
|
7.
| Тарнавский Г. А. Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины /Г. А. Тарнавский, С. С. Чесноков // Нано- и микросистемная техника , 2011. т.№ 1.-С.7-11
|
8.
| Атапин В. Э. Метод и устройство для регистрации акустических волн /В. Э. Атапин, С. С. Байков, И. В. Кузьмина // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 7.-С.52-54
|
9.
| Получение нанопористых неорганических пластин /Е. С. Трофимчук, Н. И. Никонорова, Е. А. Нестерова, С. А. Якухнов, Д. К. Мальцев, М. Н. Иноземцева, А. Л. Волынский , Н. Ф. Бакеев // Российские нанотехнологии, 2012. т.Т. 7,N № 7-8.-С.41-46
|
10.
| Разработка ионно-пучкового метода изготовления кремниевых нанопроводов /Б. А. Гурович [и др.] // Российские нанотехнологии, 2012. т.№ 1-2.-С.90-93
|
|
|