Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (23)Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - ) (1)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (3)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (2)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (2)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (1)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАСТИНЫ<.>)
Общее количество найденных документов : 17
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-17 
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/З-24
Автор(ы) : Залуцкая А. А., Проказников М. А., Проказников А. В.
Заглавие : Цветовая окраска нано-структурированной поверхности
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 11-18: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 18 (28 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры--поверхность--пластины кремниевые--плазмоны--размерность пониженная
Аннотация: Исследовались эффекты, связанные с изменением цветовой окраски кремниевых пластин с наноструктурированной поверхностью в зависимости от особенностей наноструктур. Окраска поверхности определяется захватом части падающего излучения волноводными, краевыми модами и рассеянием оставшегося излучения на поверхности. Цвет структуры связан с кривизной наноструктур, сформированных на поверхности
Найти похожие
2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 32
Автор(ы) : Пивоненков Б. И., Школьников В. М.
Заглавие : Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47: рис., табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 47 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометр пьезорезистивный --акселерометр трехкомпонентный --мэмс
Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 58
Автор(ы) : Гурович Б. А., Приходько К. Е., Комаров Д. А., Талденков А. Н.
Заглавие : Создание монокристальных нанопроводов из кремния с использованием облучения ионами малых энергий
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 3-4. - С. 49-53: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 53 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопровода--кремний--монокристальность --изоляция электрическая--температура--облучение плазменное
Аннотация: В работе предложен способ создания монокристальных кремниевых нанопроводов на поверхности кремниевой пластины путем формирования специально созданных протяженных структур с отрицательным углом наклона боковых стенок и последующего их окисления под действием облучения ионами кислорода малых энергий при температуре 400 °C. Форма и размеры структур подбирались таким образом, чтобы, во-первых, в процессе окисления центральная часть нанопровода не подвергалась модификации, сохраняя монокристальность и уровень легирования исходного кремния, а во-вторых, чтобы обеспечить электрическую изоляцию нанопровода от пластины. Исследована зависимость глубины окисления от температуры и длительности плазменного облучения, а также электрические свойства сформированного оксида
Найти похожие
4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 56
Автор(ы) : Вернер В. Д., Мальцев П. П., Резнев А. А., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А.
Заглавие : Современные тенденции развития микросистемной техники
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 6 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросистемная техника--мэмс--рынок мст--кремниевая технология--темп развития
Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций
Найти похожие
5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Р 17
Автор(ы) : Гурович Б. А., Приходько К. Е., Талденков А. Н., Якубовский А. Ю., Маслаков К. И., Комаров Д. А., Кутузов Л. В., Федоров Г. Е.
Заглавие : Разработка ионно-пучкового метода изготовления кремниевых нанопроводов
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 90-93: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 93 (7 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Предложен новый метод изготовления кремниевых нанопроводов на поверхности стандартной кремниевой пластины с помощью ионного облучения через литографическую маску. Изучены условия синтеза оксида кремния при облучении кремниевой подложки протонами с энергий ~1 кэВ. Продемонстрирована возможность синтеза оксида кремния в области геометрической тени под формируемым монокристаллическим кремниевым нанопроводом
Найти похожие
6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 96
Автор(ы) : Бурдин Д. А., Фетисов Ю. К., Чашин Д. А., Экономов Н. А., Савченко Е. М.
Заглавие : Пьезоэлектрический резонансный датчик магнитного поля с планарной возбуждающей катушкой
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 37-40: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 40 (9 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчик магнитного поля--датчик пьезоэлектрический резонансный--сила ампера--пьезоэффект--пластина биморфная --пьезоэлектрик
Аннотация: Изготовлен и исследован пьезоэлектрический датчик постоянного магнитного поля, использующий комбинацию силы Ампера, пьезоэффекта и акустического резонанса. Датчик представляет собой биморфную пластину из цирконата-титаната свинца, один конец которой закреплен, а на другом расположена планарная электромагнитная катушка. При пропускании через катушку тока с частотой, равной частоте изгибных колебаний пластины, пьезоэлектрик генерирует переменное напряжение, амплитуда которого пропорциональна постоянному полю. Датчик имеет чувствительность ~200 В/(А • Тл) в диапазоне полей ~10 -7...0,3 Тл и диапазоне температур 220...370К
Найти похожие
7.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 21
Автор(ы) : Тарнавский Г. А., Чесноков С. С.
Заглавие : Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 7-11: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 11 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование компьютерное--легирование кремния--имплантация--примеси донорные и акцепторные--наноколонны рельефа
Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину с выступающим нанорельефом поверхности
Найти похожие
8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 53
Автор(ы) : Трофимчук Е. С., Никонорова Н. И., Нестерова Е. А., Якухнов С. А., Мальцев Д. К., Иноземцева М. Н., Волынский А. Л., Бакеев Н. Ф.
Заглавие : Получение нанопористых неорганических пластин
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 7-8. - С. 41-46: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 46 (27 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): метод получения пористых пластин--матрицы полимерные--механизм крейзинга--диоксид кремния--гидроксиапатит
Аннотация: Описан оригинальный метод получения пористых пластин из различных неорганических веществ (диоксид кремния, гидроксиапатит, серебро) с использованием полимерных матриц, высокодисперсная структура которых сформирована по механизму крейзинга. Структура пористой пластины и ее характеристики могут варьироваться в широких пределах (диаметр пор может изменяться от нескольких нанометров до нескольких микрон) и зависят от морфологии исходной полимерной матрицы, степени ее деформации, количества и способа введения неорганического компонента. Сформулированы условия формирования пластины: степень деформации полимерной пленки должна быть не менее 50 %, содержание наполнителя — не менее 10 об. %
Найти похожие
9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 27
Автор(ы) : Амеличев В. В., Годовицын И. В., Сайкин Д. А.
Заглавие : Перспективная технология изготовления высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 39-45: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 45 ( 11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Описана разработка технологии изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов с использованием КНИ-пластин. К достоинствам разработанной технологии можно отнести необходимость только одного процесса анодной посадки и только одного стекла, обработка которого ограничивается формированием углублений для геттера. Обработка КНИ-пластины и стекла ведется групповым способом, анодная сварка проводится на заключительном этапе обработки. Сформирована структура резонатора в герметизированной камере. Показано, что значения основных электрофизических параметров структуры (сопротивление подвесов, наряжение притягивания) соответствуют расчетным. Проанализированы перспективы разработанной технологии
Найти похожие
10.

Вид документа :
Шифр издания : 620.3/М 61
Автор(ы) : Головицын И. В., Амеличев В. В., Панков В. В., Сауров А. Н.
Заглавие : Миниатюрный тензорезистивный преобразоватеаь давления с высокой чувствительностью
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 26-29: рис., табл.
Примечания : Библиогр.: с. 29 (19 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тензорезисторы--технология поверхностной микрообработки--преобразователи давления миниатюрные
Аннотация: Описана разработка технологического маршрута и изготовление миниатюрного преобразователя давления на КНИ-структуре, предложенного ранее. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из поликристаллического кремния. Структура преобразователя формируется с помощью технологии поверхностной микрообработки с применением односторонней обработки пластины. Изготовлены два варианта преобразователя - с кольцевым концентратором напряжений на мембране, сформированным из пассивирующего слоя толщиной 1,2 мкм, и без концентратора. Проведены измерения основных параметров преобразователя при температуре +20, -50 и +60 °С. Оба варианта демонстрируют чувствительность около 24 мВ-(В•атм)-1. Проведен анализ параметров преобразователей с точки зрения влияния технологических факторов
Найти похожие
 1-10    11-17 
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика