Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (23)Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - ) (1)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (3)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (2)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (2)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (1)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАСТИНЫ<.>)
Общее количество найденных документов : 17
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-17 
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 27
Автор(ы) : Амеличев В. В., Годовицын И. В., Сайкин Д. А.
Заглавие : Перспективная технология изготовления высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 39-45: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 45 ( 11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Описана разработка технологии изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов с использованием КНИ-пластин. К достоинствам разработанной технологии можно отнести необходимость только одного процесса анодной посадки и только одного стекла, обработка которого ограничивается формированием углублений для геттера. Обработка КНИ-пластины и стекла ведется групповым способом, анодная сварка проводится на заключительном этапе обработки. Сформирована структура резонатора в герметизированной камере. Показано, что значения основных электрофизических параметров структуры (сопротивление подвесов, наряжение притягивания) соответствуют расчетным. Проанализированы перспективы разработанной технологии
Найти похожие

2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 92
Автор(ы) : Атапин В. Э., Байков С. С., Кузьмина И. В.
Заглавие : Метод и устройство для регистрации акустических волн
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 52-54: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 54 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): геофон--микрофон--интерферометр трехзеркальный--возбуждения параметрические--колебания параметрические--колебания изгибные--колебания продольные
Аннотация: Разработан метод регистрации акустических волн с помощью параметрических колебаний пластины. Рассмотрено практическое устройство регистрации акустических волн ультразвукового диапазона
Найти похожие

3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 58
Автор(ы) : Чумаков А. П., Росляков И. В., Напольский К. С., Елисеев А. А., Лукашин А. В., Eckerlebe H., Bouwman W. G., Белов Д. В., Окороков А. И., Григорьев С. В.
Заглавие : Влияние микроструктуры подложки на продольную корреляционную длину пористой системы анодного оксида алюминия: исследование методами малоугловой дифракции
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 9-10. - С. 54-60: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 60 (26 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроструктура--методы малоугловой дифракции--алюминий--пластина--мембраны синтезированные--кислота--пленка пористая оксидная--корреляция--нейтрон
Аннотация: Методами малоугловой дифракции нейтронов и синхротронного излучения исследованы три серии мембран анодного оксида алюминия. Образцы получены окислением алюминиевых пластин с использованием серной и щавелевой кислот при различных напряжениях и отличаются величиной расстояния между порами. В результате экспериментов по малоугловой дифракции установлена линейная зависимость между средним размером зерна исходной алюминиевой пластины и средней прямолинейностью пор синтезированных мембран. Обнаруженная корреляция обусловлена влиянием кристаллографической ориентации зерен исходной алюминиевой пластины на рост пористой оксидной пленки
Найти похожие

4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Г 55
Автор(ы) : Глухова О. Е., Коссович Е. Л.
Заглавие : Исследование распространения краевых волн в многослойных графеновых пластинах в зависимости от вида укладки слоев
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 19-26: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 26 (34 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): виды укладки слоев--пластины графеновые --графен многослойной --типы укладки слоев ааа, aba, abc--плотность--метод харрисона квантово-химический
Аннотация: Исследован прогиб многослойной графеновой пластины в рамках теории сплошной среды. Рассмотрено три вида укладки слоев (ориентации гексагональных элементов атомной сетки монослоя графена) — типов ААА, ABA, ABC. Для каждого из таких материалов были вычислены плотности. Также в работе были использованы явные модели, описывающие распространение изгибной краевой волны Коненкова в многослойных графеновых пластинах, модифицированные под указанные выше случаи. Можно сделать вывод, что наиболее прочными оказываются пластины из многослойного графена с типом укладки слоев АВС
Найти похожие

5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Е 30
Автор(ы) : Егоров Г. П., Волков А. А., Устюжанинов А. Л.
Заглавие : Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78: табл., рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 78 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопленки in-situ--метод измерения внутренних напряжений--пластина консольно закрепленная
Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ
Найти похожие

6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/З-24
Автор(ы) : Залуцкая А. А., Проказников М. А., Проказников А. В.
Заглавие : Цветовая окраска нано-структурированной поверхности
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 11-18: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 18 (28 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры--поверхность--пластины кремниевые--плазмоны--размерность пониженная
Аннотация: Исследовались эффекты, связанные с изменением цветовой окраски кремниевых пластин с наноструктурированной поверхностью в зависимости от особенностей наноструктур. Окраска поверхности определяется захватом части падающего излучения волноводными, краевыми модами и рассеянием оставшегося излучения на поверхности. Цвет структуры связан с кривизной наноструктур, сформированных на поверхности
Найти похожие

7.

Вид документа :
Шифр издания : 620.3/М 61
Автор(ы) : Головицын И. В., Амеличев В. В., Панков В. В., Сауров А. Н.
Заглавие : Миниатюрный тензорезистивный преобразоватеаь давления с высокой чувствительностью
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 26-29: рис., табл.
Примечания : Библиогр.: с. 29 (19 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тензорезисторы--технология поверхностной микрообработки--преобразователи давления миниатюрные
Аннотация: Описана разработка технологического маршрута и изготовление миниатюрного преобразователя давления на КНИ-структуре, предложенного ранее. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из поликристаллического кремния. Структура преобразователя формируется с помощью технологии поверхностной микрообработки с применением односторонней обработки пластины. Изготовлены два варианта преобразователя - с кольцевым концентратором напряжений на мембране, сформированным из пассивирующего слоя толщиной 1,2 мкм, и без концентратора. Проведены измерения основных параметров преобразователя при температуре +20, -50 и +60 °С. Оба варианта демонстрируют чувствительность около 24 мВ-(В•атм)-1. Проведен анализ параметров преобразователей с точки зрения влияния технологических факторов
Найти похожие

8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 32
Автор(ы) : Пивоненков Б. И., Школьников В. М.
Заглавие : Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47: рис., табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 47 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометр пьезорезистивный --акселерометр трехкомпонентный --мэмс
Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат
Найти похожие

9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 537.534.2:679.826/П 41
Автор(ы) : Побойкина Н. В.
Заглавие : Использование алмаза в качестве теплоотводяшего элемента: методы и устройства вырашивания алмазных пленок и пластин
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 23-27. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 27 (17 назв.)
УДК : 537.534.2:679.826
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): поликристаллические алмазные пленки--cvd-метод--пластины
Аннотация: Приводится краткий обзор организаций, занимающихся в России выращиванием поликристаллических алмазных пленок. Рассмотрены наиболее распространенные в мире конструкции СВЧ плазменных технологических установок
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 53
Автор(ы) : Трофимчук Е. С., Никонорова Н. И., Нестерова Е. А., Якухнов С. А., Мальцев Д. К., Иноземцева М. Н., Волынский А. Л., Бакеев Н. Ф.
Заглавие : Получение нанопористых неорганических пластин
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 7-8. - С. 41-46: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 46 (27 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): метод получения пористых пластин--матрицы полимерные--механизм крейзинга--диоксид кремния--гидроксиапатит
Аннотация: Описан оригинальный метод получения пористых пластин из различных неорганических веществ (диоксид кремния, гидроксиапатит, серебро) с использованием полимерных матриц, высокодисперсная структура которых сформирована по механизму крейзинга. Структура пористой пластины и ее характеристики могут варьироваться в широких пределах (диаметр пор может изменяться от нескольких нанометров до нескольких микрон) и зависят от морфологии исходной полимерной матрицы, степени ее деформации, количества и способа введения неорганического компонента. Сформулированы условия формирования пластины: степень деформации полимерной пленки должна быть не менее 50 %, содержание наполнителя — не менее 10 об. %
Найти похожие

 1-10    11-17 
 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика