Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (23)Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - ) (1)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (3)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (1)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (2)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (2)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (1)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАСТИНЫ<.>)
Общее количество найденных документов : 17
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-17 
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/С 56
Автор(ы) : Вернер В. Д., Мальцев П. П., Резнев А. А., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А.
Заглавие : Современные тенденции развития микросистемной техники
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 6 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микросистемная техника--мэмс--рынок мст--кремниевая технология--темп развития
Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций
Найти похожие
2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 19
Автор(ы) : Тарнавский А. Г., Анищик В. С., Тарнавский А. Г.
Заглавие : Влияние защитных масок при отжиге кремниевой пластины на формирование наноразмерных примесей фосфора
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 57-65: граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 65 (15 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование--проводимость--защитные маски--примеси фосфора
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 32
Автор(ы) : Пивоненков Б. И., Школьников В. М.
Заглавие : Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47: рис., табл., граф. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 47 (4 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометр пьезорезистивный --акселерометр трехкомпонентный --мэмс
Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат
Найти похожие
4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Е 30
Автор(ы) : Егоров Г. П., Волков А. А., Устюжанинов А. Л.
Заглавие : Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78: табл., рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 78 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанопленки in-situ--метод измерения внутренних напряжений--пластина консольно закрепленная
Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ
Найти похожие
5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 21
Автор(ы) : Тарнавский Г. А.
Заглавие : Легирование наноколонн рельефа поверхности пластины кремния
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6 . - С. 20-24. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 24 (17 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование компьютерное--легирование кремния--имплантация
Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину со сложным поверхностным нанорельефом
Найти похожие
6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 27
Автор(ы) : Амеличев В. В., Годовицын И. В., Сайкин Д. А.
Заглавие : Перспективная технология изготовления высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 39-45: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 45 ( 11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Описана разработка технологии изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов с использованием КНИ-пластин. К достоинствам разработанной технологии можно отнести необходимость только одного процесса анодной посадки и только одного стекла, обработка которого ограничивается формированием углублений для геттера. Обработка КНИ-пластины и стекла ведется групповым способом, анодная сварка проводится на заключительном этапе обработки. Сформирована структура резонатора в герметизированной камере. Показано, что значения основных электрофизических параметров структуры (сопротивление подвесов, наряжение притягивания) соответствуют расчетным. Проанализированы перспективы разработанной технологии
Найти похожие
7.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Т 21
Автор(ы) : Тарнавский Г. А., Чесноков С. С.
Заглавие : Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 7-11: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 11 (11 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование компьютерное--легирование кремния--имплантация--примеси донорные и акцепторные--наноколонны рельефа
Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину с выступающим нанорельефом поверхности
Найти похожие
8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 92
Автор(ы) : Атапин В. Э., Байков С. С., Кузьмина И. В.
Заглавие : Метод и устройство для регистрации акустических волн
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 52-54: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 54 (5 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): геофон--микрофон--интерферометр трехзеркальный--возбуждения параметрические--колебания параметрические--колебания изгибные--колебания продольные
Аннотация: Разработан метод регистрации акустических волн с помощью параметрических колебаний пластины. Рассмотрено практическое устройство регистрации акустических волн ультразвукового диапазона
Найти похожие
9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 53
Автор(ы) : Трофимчук Е. С., Никонорова Н. И., Нестерова Е. А., Якухнов С. А., Мальцев Д. К., Иноземцева М. Н., Волынский А. Л., Бакеев Н. Ф.
Заглавие : Получение нанопористых неорганических пластин
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 7-8. - С. 41-46: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 46 (27 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): метод получения пористых пластин--матрицы полимерные--механизм крейзинга--диоксид кремния--гидроксиапатит
Аннотация: Описан оригинальный метод получения пористых пластин из различных неорганических веществ (диоксид кремния, гидроксиапатит, серебро) с использованием полимерных матриц, высокодисперсная структура которых сформирована по механизму крейзинга. Структура пористой пластины и ее характеристики могут варьироваться в широких пределах (диаметр пор может изменяться от нескольких нанометров до нескольких микрон) и зависят от морфологии исходной полимерной матрицы, степени ее деформации, количества и способа введения неорганического компонента. Сформулированы условия формирования пластины: степень деформации полимерной пленки должна быть не менее 50 %, содержание наполнителя — не менее 10 об. %
Найти похожие
10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Р 17
Автор(ы) : Гурович Б. А., Приходько К. Е., Талденков А. Н., Якубовский А. Ю., Маслаков К. И., Комаров Д. А., Кутузов Л. В., Федоров Г. Е.
Заглавие : Разработка ионно-пучкового метода изготовления кремниевых нанопроводов
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 90-93: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр. : с. 93 (7 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Аннотация: Предложен новый метод изготовления кремниевых нанопроводов на поверхности стандартной кремниевой пластины с помощью ионного облучения через литографическую маску. Изучены условия синтеза оксида кремния при облучении кремниевой подложки протонами с энергий ~1 кэВ. Продемонстрирована возможность синтеза оксида кремния в области геометрической тени под формируемым монокристаллическим кремниевым нанопроводом
Найти похожие
 1-10    11-17 
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика