Поисковый запрос: (<.>K=ПРОЦЕСС<.>) |
Общее количество найденных документов : 53
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Горнев Е. С. Процесс реактивно-ионного травления контактных окон в смеси на основе C4F 8 для технологии менее 0,25 мкм/Е. С. Горнев, С. И. Янович // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 8.-С.16-20
|
2.
| Кинетика травления неорганического "жертвенного" слоя при изготовлении чувствительных элементов инерциальных датчиков по технологии кремний-на-изоляторе/Н. Ю. Фирсова, А. С. Елшин, М. А. Марченкова, А. К. Болотов, М. С. Иванов, И. П. Пронин, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, Е. Д. Мишина // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 7.-С.38-43
|
3.
| Малашевич Н. И. Разработка методики интеграции ОЗУ в базовых матричных кристаллах космического назначения/Н. И. Малашевич // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 6.-С.50-52
|
4.
| Пономарев А. П. Конъюгация нанобактерий и вируса парагриппа как половой процесс и способ адаптации к воздействию факторов внешней среды/А. П. Пономарев // Нанотехнологии. Наука и производство, 2014. т.№ 1 (28)
|
5.
| Чепкасов И. В. Роль ряда внешних факторов при процессах синтеза ультрадисперсных частиц меди/И. В. Чепкасов, Ю. Я. Гафнер // Наноматериалы и наноструктуры, 2014. т.Т. 5,N № 2.-С.3-9
|
6.
| Гусейнова Э. Физико-химические и каталитические свойства наноникеля в процессе превращения изопропилового спирта в ацетон/Э. Гусейнова, Э. Зейналов, К. Аджамов // Наноиндустрия, 2014. т.№ 5(51).-С.46-53
|
7.
| Латохин Д. В. Численное моделирование микроплазменного пробоя в полупроводниковых структурах /Д. В. Латохин, Э. Н. Воронков // Нано- и микросистемная техника , 2013. т.№ 3.-С.26-29
|
8.
| Нагель М. Ю. Моделирование образования развитого рельефа осаждаемых пленок /М. Ю. Нагель, Ю. В. Мартыненко // Российские нанотехнологии, 2013. т.Т. 8,N № 7-8.-С.72-77
|
9.
| Вишневский А. С. Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов /А. С. Вишневский, К. А. Воротилов, О. М. Жигалина, А. Н. Ланцев, Ю. В Подгорный, Д. С. Серегин // Нано- и микросистемная техника , 2013. т.№ 1.-С.15-20
|
10.
| Оптически прозрачные теплостойкие нанокомпозиты на основе эпоксидной смолы и оксида кремния /В. К. Скачкова, А. В. Любимов, Г. В. Любимова, М. Н. Гусев, А. В. Грачев, В. М. Лалаян, А. Ю. Шаулов, А. А. Берлин // Российские нанотехнологии, 2013. т.Т. 8,N № 1-2.-С.82-86
|
|
|