Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (95)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (7)Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - ) (2)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (22)Публикации об УрО РАН (3)Изобретения уральских ученых (1)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (42)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (113)Труды Института истории и археологии УрО РАН (24)Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН (1)Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН (55)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (74)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (51)Расплавы (63)Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН (2)Публикации Черешнева В.А. (19)Публикации Чарушина В.Н. (5)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (74)Библиометрия (13)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПРОЦЕСС<.>)
Общее количество найденных документов : 53
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-30   31-40   41-50   51-53 
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Г 69


    Горнев, Е. С.
    Процесс реактивно-ионного травления контактных окон в смеси на основе C4F 8 для технологии менее 0,25 мкм / Е. С. Горнев, С. И. Янович // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 8. - С. 16-20 : граф., рис. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
РЕАКТИВНО-ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- C4F8 -- КОНТАКТНЫЕ ОКНА -- 0, 25 МКМ
Аннотация: Настоящая работа призвана показать, что при реактивно-ионном травлении в классических реакторах с вращающимся магнитным полем и использованием C 4F 8 в качестве основного травящего агента для травления контактных окон в технологических процессах создания интегральных схем с минимальными элементами от 0,25 мкм и менее не только применима, но и демонстрирует улучшение анализируемого процесса в отношении элементов с меньшими размерами. Кроме того, представленные в статье исследования могут быть полезны с методологической точки зрения при описании других процессов травления

Найти похожие

2.
Инвентарный номер: нет.
   
   К 41


   
    Кинетика травления неорганического "жертвенного" слоя при изготовлении чувствительных элементов инерциальных датчиков по технологии кремний-на-изоляторе / Н. Ю. Фирсова, А. С. Елшин, М. А. Марченкова, А. К. Болотов, М. С. Иванов, И. П. Пронин, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, Е. Д. Мишина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 38-43. - Библиогр.: с. 42 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
"ЖЕРТВЕННЫЙ" СЛОЙ -- ДИОКСИД КРЕМНИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАВИКОВАЯ КИСЛОТА
Аннотация: Исследован процесс травления неорганического "жертвенного" слоя в трехслойных подложках кремний-на-изоляторе. Представлены результаты исследования кинетики травления диоксида кремния в парах водного раствора плавиковой кислоты в зависимости от продолжительности процесса и температуры поверхности образцов. Показано увеличение скорости процесса по мере травления и при уменьшении температуры

Найти похожие

3.
Инвентарный номер: нет.
   
   М 18


    Малашевич, Н. И.
    Разработка методики интеграции ОЗУ в базовых матричных кристаллах космического назначения / Н. И. Малашевич // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 50-52. - Библиогр.: с. 52 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
БМК -- ОЗУ -- ИНТЕГРАЦИЯ В КОНСТРУКЦИЮ БМК
Аннотация: Показана необходимость создания отечественных базовых матричных кристаллов (БМК) космического назначения с интегрированными блоками оперативного запоминающего устройства (ОЗУ). Перечислены преимущества использования микросхем указанных типов по сравнению с применением зарубежных ОЗУ, образующих на плате переходы БМК - ПЛИС/ASIC. Предложена методика интеграции блоков ОЗУ в структуру БМК. Рассмотрены основные ограничения, накладываемые конструкцией поля БМК на процесс разработки и интеграции блока ОЗУ

Найти похожие

4.
Инвентарный номер: нет.
   
   П 56


    Пономарев, А. П.
    Конъюгация нанобактерий и вируса парагриппа как половой процесс и способ адаптации к воздействию факторов внешней среды / А. П. Пономарев // Нанотехнологии. Наука и производство. - 2014. - № 1 (28) . - ISSN 2306-0581
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ

Найти похожие

5.
Инвентарный номер: нет.
   
   Ч-44


    Чепкасов, И. В.
    Роль ряда внешних факторов при процессах синтеза ультрадисперсных частиц меди / И. В. Чепкасов, Ю. Я. Гафнер // Наноматериалы и наноструктуры. - 2014. - Т. 5, № 2. - С. 3-9. - Библиогр.: с. 9 (назв.)
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
КОНДЕНСАЦИЯ -- КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ -- МЕДЬ -- НАНОКЛАСТЕРЫ
Аннотация: Исследован процесс конденсации из газовой среды 85000 атомов Cu методом молекулярной динамики с использованием модифицированного потенциала сильной связи TB-SMA. Для изучения влияния скорости отвода тепла на форму синтезированных частиц и их структуру было смоделировано охлаждения системы с тремя различными скоростями. U = 0,005 пс-1, U = 0,025 пс-1 и U = 0,05 с-1. По результатам моделирования были рассмотрены основные механизмы формирования нанокристаллических частиц в процессе свободной конденсации атомов меди. Было определенно, что процессы нуклеации и мономерного роста завершаются в системе на самых ранних стадиях ее эволюции и последующий рост частиц происходит в основном за счет процессов агломерации

Найти похожие

6.
Инвентарный номер: нет.
   
   Г 96


    Гусейнова, Э.
    Физико-химические и каталитические свойства наноникеля в процессе превращения изопропилового спирта в ацетон / Э. Гусейнова, Э. Зейналов, К. Аджамов // Наноиндустрия. - 2014. - № 5(51). - С. 46-53 : граф., рис. - Библиогр.: с. 53 (25 назв.) . - ISSN 1993-8578
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ДЕГИДРИРОВАНИЕ ИЗОПРОПИЛОВОГО СПИРТА -- НАНОКЛАСТЕРЫ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ -- МАГНИТНЫЕ И ЭЛЕКТРОННЫЕ СВОЙСТВА -- НИКЕЛЬКИЗЕЛЬГУРОВЫЙ КАТАЛИЗАТОР
Аннотация: Исследование свойств промышленного никелькизельгурового катализатора при превращении изопропилового спирта в ацетон показало, что процесс сопровождается разрыхлением исходной металлической структуры и образованием нанокластеров никеля. Каталитические свойства никелькизельгурового катализатора связаны с изменением морфологии, фазового, электронного, магнитного состояния и природы поверхностных активных никелевых кластеров типа гомогенной шпинели

Найти похожие

7.
Инвентарный номер: нет.
   
   Л 27


    Латохин, Д. В.
    Численное моделирование микроплазменного пробоя в полупроводниковых структурах / Д. В. Латохин, Э. Н. Воронков // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 26-29 : рис. - Библиогр.: с. 29 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МОДЕЛИРОВАНИЕ ЧИСЛЕННОЕ -- СТРУКТУРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ -- МИКРОПЛАЗМА -- ПРОБОЙ -- ПРОВОДНИКИ -- ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ -- ПЛЕНКИ АМОРФНЫЕ
Аннотация: Сообщается о численном моделировании микроплазм в неупорядоченных полупроводниковых структурах при условиях, аналогичных условиям возникновения микроплазменного пробоя в пленках As 2 Se 3 — одного из широкозонных халькогенидных стеклообразных полупроводников. Предложена модель, позволяющая описать процесс микроплазменного пробоя в аморфных пленках

Найти похожие

8.
Инвентарный номер: нет.
   
   Н 16


    Нагель, М. Ю.
    Моделирование образования развитого рельефа осаждаемых пленок / М. Ю. Нагель, Ю. В. Мартыненко // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 72-77 : рис. - Библиогр.: с. 77 (13 назв.) . - ISSN 1992-7223
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПЛЕНКИ -- МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО -- УСТАНОВКИ ТЕРМОЯДЕРНОГО СИНТЕЗА -- НАНОРЕЛЬЕФ ОСАЖДАЕМЫХ ПЛЕНОК -- ТЕМПЕРАТУРА -- КОЭФФИЦИЕНТ ДИФФУЗИИ ПО ПОВЕРХНОСТИ -- НАНОРЕЛЬЕФ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ
Аннотация: Методом Монте-Карло моделировался процесс роста пленок в результате объединения одиночных атомов, осаждаемых на подложку и участвующих в процессе диффузии по поверхности пленки, с использованием разработанного численного кода. При моделировании получены структуры типа столбов, «цветной капусты», аналогичные объектам, образующимся при создании технологических покрытий для специальных целей, а также в установках термоядерного синтеза. Выяснено, при каких значениях параметров, характеризующих процесс осаждения (поток атомов, содержание атомов примеси) и свойства подложки (температура, коэффициент диффузии по поверхности), возможно образование каждого типа нанорельефа осаждаемых пленок

Найти похожие

9.
Инвентарный номер: нет.
   
   В 55


    Вишневский, А. С.
    Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов / А. С. Вишневский, К. А. Воротилов, О. М. Жигалина, А. Н. Ланцев, Ю. В Подгорный, Д. С. Серегин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 1. - С. 15-20 : рис., табл. - Библиогр.: с. 20 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПОДЛОЖКИ КРЕМНИЕВЫЕ -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ЦТС -- ПРОЦЕСС ТЕРМООБРАБОТКИ -- ПЛЕНКИ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- СТЕКЛО ФОСФОРОСИЛИКАТНОЕ
Аннотация: Проведены исследования тонких золь-гель-пленок цирконата-титаната свинца PbZr 0,48Ti 0,52O 3 (ЦТС), сформированных на кремниевых подложках с различными вариантами многослойной структуры Pt /Тi (ТiO 2)/SiO2(ФСС)/Si формирующей нижний электрод сегнетоэлектрического конденсатора. Изучены диффузионные процессы, протекающие в данных гетероструктурах в процессе термообработки, а также роль толщины платины и вспомогательных слоев в формировании кристаллической структуры ЦТС. Установлено, что при кристаллизации ЦТС происходит взаимная диффузия слоев нижнего электрода: нижняя граница Pt размывается, слой Ti (TiO 2) становится толще, Ti диффундирует в Pt и в SiO 2 (ФСС). Использование слоя фосфоросиликатного стекла (ФСС) способствует формированию в пленках ЦТС преимущественной ориентации (100), что ухудшает их поляризационные свойства и ведет к снижению остаточной поляризации до ~10 мкКл/см 2. Нанесение слоя плазмохимического SiO 2 на слой ФСС позволяет стабилизировать границу раздела и улучшить электрические характеристики гетероструктур

Найти похожие

10.
Инвентарный номер: нет.
   
   О-62


   
    Оптически прозрачные теплостойкие нанокомпозиты на основе эпоксидной смолы и оксида кремния / В. К. Скачкова, А. В. Любимов, Г. В. Любимова, М. Н. Гусев, А. В. Грачев, В. М. Лалаян, А. Ю. Шаулов, А. А. Берлин // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 1-2. - С. 82-86 : рис., табл. - Библиогр.: с. 86 (10 назв.) . - ISSN 1992-7223
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОКОМПОЗИТЫ -- НАНОКОМПОЗИТЫ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫЕ ТЕПЛОСТОЙКИЕ -- ОКСИД КРЕМНИЯ -- СМОЛА ЭПОКСИДНАЯ -- НАНОЧАСТИЦЫ SIO2 -- НАНОНАПОЛНИТЕЛЬ -- ТЕПЛОСТОЙКОСТЬ -- ТЕРМОДЕСТРУКЦИЯ -- КРЕМНИЙ
Аннотация: Исследован процесс отверждения композиций диэпоксида 3,4-эпоксициклогексилметил-3,4-эпоксициклогексан карбоксилата, наночастиц SiO2 с привитыми глицидиловыми группами и отвердителя на основе метилтетрагидрофталевого ангидрида. Показано, что в присутствии нанонаполнителя могут быть получены оптически прозрачные эпоксидные композиты с повышенной теплостойкостью, Тразм. которых совпадает с началом термодеструкции при 325 °С

Найти похожие

 1-10    11-20   21-30   31-40   41-50   51-53 
 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика