Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (95)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (7)Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - ) (2)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (22)Публикации об УрО РАН (3)Изобретения уральских ученых (1)Интеллектуальная собственность (статьи из периодики) (42)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (113)Труды Института истории и археологии УрО РАН (24)Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН (1)Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН (55)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (74)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (51)Расплавы (63)Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН (2)Публикации Черешнева В.А. (19)Публикации Чарушина В.Н. (5)Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН (74)Библиометрия (13)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ПРОЦЕСС<.>)
Общее количество найденных документов : 53
Показаны документы с 1 по 10
 1-10    11-20   21-30   31-40   41-50   51-53 
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 544.5/Г 69
Автор(ы) : Горнев Е. С., Янович С. И.
Заглавие : Процесс реактивно-ионного травления контактных окон в смеси на основе C4F 8 для технологии менее 0,25 мкм
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 8. - С. 16-20: граф., рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 19 (6 назв.)
УДК : 544.5
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): реактивно-ионное травление--c4f8--контактные окна--0, 25 мкм
Аннотация: Настоящая работа призвана показать, что при реактивно-ионном травлении в классических реакторах с вращающимся магнитным полем и использованием C 4F 8 в качестве основного травящего агента для травления контактных окон в технологических процессах создания интегральных схем с минимальными элементами от 0,25 мкм и менее не только применима, но и демонстрирует улучшение анализируемого процесса в отношении элементов с меньшими размерами. Кроме того, представленные в статье исследования могут быть полезны с методологической точки зрения при описании других процессов травления
Найти похожие
2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Гринькин Е. А., Жукова С. А., Обижаев Д. Ю., Тютюгин А. В., Турков В. Е.
Заглавие : Кинетика травления неорганического "жертвенного" слоя при изготовлении чувствительных элементов инерциальных датчиков по технологии кремний-на-изоляторе
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 38-43. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 42 (4 назв.)
УДК : 546.284-31 + 531.768 + 531.77
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): "жертвенный" слой--диоксид кремния--травление--плавиковая кислота
Аннотация: Исследован процесс травления неорганического "жертвенного" слоя в трехслойных подложках кремний-на-изоляторе. Представлены результаты исследования кинетики травления диоксида кремния в парах водного раствора плавиковой кислоты в зависимости от продолжительности процесса и температуры поверхности образцов. Показано увеличение скорости процесса по мере травления и при уменьшении температуры
Найти похожие
3.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.3.049.77/М 18
Автор(ы) : Малашевич Н. И.
Заглавие : Разработка методики интеграции ОЗУ в базовых матричных кристаллах космического назначения
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 50-52. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 52 (4 назв.)
УДК : 621.3.049.77
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): бмк--озу--интеграция в конструкцию бмк
Аннотация: Показана необходимость создания отечественных базовых матричных кристаллов (БМК) космического назначения с интегрированными блоками оперативного запоминающего устройства (ОЗУ). Перечислены преимущества использования микросхем указанных типов по сравнению с применением зарубежных ОЗУ, образующих на плате переходы БМК - ПЛИС/ASIC. Предложена методика интеграции блоков ОЗУ в структуру БМК. Рассмотрены основные ограничения, накладываемые конструкцией поля БМК на процесс разработки и интеграции блока ОЗУ
Найти похожие
4.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/П 56
Автор(ы) : Пономарев А. П.
Заглавие : Конъюгация нанобактерий и вируса парагриппа как половой процесс и способ адаптации к воздействию факторов внешней среды
Место публикации : Нанотехнологии. Наука и производство. - 2014. - № 1 (28). - ISSN 2306-0581. - ISSN 2306-0581
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Найти похожие
5.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Ч-44
Автор(ы) : Чепкасов И. В., Гафнер Ю. Я.
Заглавие : Роль ряда внешних факторов при процессах синтеза ультрадисперсных частиц меди
Место публикации : Наноматериалы и наноструктуры. - 2014. - Т. 5, № 2. - С. 3-9
Примечания : Библиогр.: с. 9 (назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): конденсация--компьютерное моделирование--медь--нанокластеры
Аннотация: Исследован процесс конденсации из газовой среды 85000 атомов Cu методом молекулярной динамики с использованием модифицированного потенциала сильной связи TB-SMA. Для изучения влияния скорости отвода тепла на форму синтезированных частиц и их структуру было смоделировано охлаждения системы с тремя различными скоростями. U = 0,005 пс-1, U = 0,025 пс-1 и U = 0,05 с-1. По результатам моделирования были рассмотрены основные механизмы формирования нанокристаллических частиц в процессе свободной конденсации атомов меди. Было определенно, что процессы нуклеации и мономерного роста завершаются в системе на самых ранних стадиях ее эволюции и последующий рост частиц происходит в основном за счет процессов агломерации
Найти похожие
6.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Г 96
Автор(ы) : Гусейнова Э., Зейналов Э., Аджамов К.
Заглавие : Физико-химические и каталитические свойства наноникеля в процессе превращения изопропилового спирта в ацетон
Место публикации : Наноиндустрия. - 2014. - № 5(51). - С. 46-53: граф., рис. - ISSN 1993-8578. - ISSN 1993-8578
Примечания : Библиогр.: с. 53 (25 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): дегидрирование изопропилового спирта--нанокластеры--морфология поверхности--магнитные и электронные свойства--никелькизельгуровый катализатор
Аннотация: Исследование свойств промышленного никелькизельгурового катализатора при превращении изопропилового спирта в ацетон показало, что процесс сопровождается разрыхлением исходной металлической структуры и образованием нанокластеров никеля. Каталитические свойства никелькизельгурового катализатора связаны с изменением морфологии, фазового, электронного, магнитного состояния и природы поверхностных активных никелевых кластеров типа гомогенной шпинели
Найти похожие
7.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Л 27
Автор(ы) : Латохин Д. В., Воронков Э. Н.
Заглавие : Численное моделирование микроплазменного пробоя в полупроводниковых структурах
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 26-29: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 29 (6 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моделирование численное--структуры полупроводниковые--микроплазма--пробой--проводники--электропроводность--пленки аморфные
Аннотация: Сообщается о численном моделировании микроплазм в неупорядоченных полупроводниковых структурах при условиях, аналогичных условиям возникновения микроплазменного пробоя в пленках As 2 Se 3 — одного из широкозонных халькогенидных стеклообразных полупроводников. Предложена модель, позволяющая описать процесс микроплазменного пробоя в аморфных пленках
Найти похожие
8.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/Н 16
Автор(ы) : Нагель М. Ю., Мартыненко Ю. В.
Заглавие : Моделирование образования развитого рельефа осаждаемых пленок
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 72-77: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 77 (13 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки--методом монте-карло --установки термоядерного синтеза--нанорельеф осаждаемых пленок--температура--коэффициент диффузии по поверхности--нанорельеф--моделирование
Аннотация: Методом Монте-Карло моделировался процесс роста пленок в результате объединения одиночных атомов, осаждаемых на подложку и участвующих в процессе диффузии по поверхности пленки, с использованием разработанного численного кода. При моделировании получены структуры типа столбов, «цветной капусты», аналогичные объектам, образующимся при создании технологических покрытий для специальных целей, а также в установках термоядерного синтеза. Выяснено, при каких значениях параметров, характеризующих процесс осаждения (поток атомов, содержание атомов примеси) и свойства подложки (температура, коэффициент диффузии по поверхности), возможно образование каждого типа нанорельефа осаждаемых пленок
Найти похожие
9.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 55
Автор(ы) : Вишневский А. С., Воротилов К. А., Жигалина О. М., Ланцев А. Н., Подгорный Ю. В, Серегин Д. С.
Заглавие : Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 1. - С. 15-20: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 20 (19 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): подложки кремниевые--гетероструктуры--цтс--процесс термообработки--пленки сегнетоэлектрические--стекло фосфоросиликатное
Аннотация: Проведены исследования тонких золь-гель-пленок цирконата-титаната свинца PbZr 0,48Ti 0,52O 3 (ЦТС), сформированных на кремниевых подложках с различными вариантами многослойной структуры Pt /Тi (ТiO 2)/SiO2(ФСС)/Si формирующей нижний электрод сегнетоэлектрического конденсатора. Изучены диффузионные процессы, протекающие в данных гетероструктурах в процессе термообработки, а также роль толщины платины и вспомогательных слоев в формировании кристаллической структуры ЦТС. Установлено, что при кристаллизации ЦТС происходит взаимная диффузия слоев нижнего электрода: нижняя граница Pt размывается, слой Ti (TiO 2) становится толще, Ti диффундирует в Pt и в SiO 2 (ФСС). Использование слоя фосфоросиликатного стекла (ФСС) способствует формированию в пленках ЦТС преимущественной ориентации (100), что ухудшает их поляризационные свойства и ведет к снижению остаточной поляризации до ~10 мкКл/см 2. Нанесение слоя плазмохимического SiO 2 на слой ФСС позволяет стабилизировать границу раздела и улучшить электрические характеристики гетероструктур
Найти похожие
10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/О-62
Автор(ы) : Скачкова В. К., Любимов А. В., Любимова Г. В., Гусев М. Н., Грачев А. В., Лалаян В. М., Шаулов А. Ю., Берлин А. А.
Заглавие : Оптически прозрачные теплостойкие нанокомпозиты на основе эпоксидной смолы и оксида кремния
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 1-2. - С. 82-86: рис., табл. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 86 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанокомпозиты--нанокомпозиты оптически прозрачные теплостойкие --оксид кремния--смола эпоксидная--наночастицы sio2--нанонаполнитель--теплостойкость--термодеструкция--кремний
Аннотация: Исследован процесс отверждения композиций диэпоксида 3,4-эпоксициклогексилметил-3,4-эпоксициклогексан карбоксилата, наночастиц SiO2 с привитыми глицидиловыми группами и отвердителя на основе метилтетрагидрофталевого ангидрида. Показано, что в присутствии нанонаполнителя могут быть получены оптически прозрачные эпоксидные композиты с повышенной теплостойкостью, Тразм. которых совпадает с началом термодеструкции при 325 °С
Найти похожие
 1-10    11-20   21-30   31-40   41-50   51-53 
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика