Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Главная

Новые поступления

Описание

Базы данных

Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий

Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН

Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )

Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)

Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)

Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН

Публикации об УрО РАН

Изобретения уральских ученых

Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)

Нанотехнологии

Демидовские премии

Гибель династии Романовых

История Урала

Личная библиотека С. В. Вонсовского

Книжная коллекция Шубиных

Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Труды Института истории и археологии УрО РАН

Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН

Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН

Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН

Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН

Расплавы

Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН

Публикации Черешнева В.А.

Публикации Чарушина В.Н.

Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН

Электронная энциклопедия «Дискурсология»

Библиометрия

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=РАЗМЕРЫ ЛИНЕЙНЫЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/В 93
Автор(ы) : Щеглов Д. В., Косолобов С. С., Федина Л. И., Родякина Е. Е., Гутаковский А. К., Ситников С. В., Кожухов А. С., Загарских С. А., Копытов В. В., Ефграфов В. И., Шувалов Г. В., Матвейчук В. Ф., Латышев А. В.
Заглавие : Высокоточные меры линейных размеров в нанодиапазоне
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 84-94: рис. - ISSN 1992-7223. - ISSN 1992-7223
Примечания : Библиогр.: с. 94 (84 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанодиапазон--поверхность атомно-структурированная кристаллическая--кристалла--«степп-ифп-1»--средства измерений --размеры линейные
Аннотация: В статье проанализированы современные литографические методы создания мер нанометрового диапазона размеров и основные лимитирующие факторы применения таких мер. Показана перспективность создания высокоточных мер на основе атомно-структурированной кристаллической поверхности (содержащей моноатомные ступени), параметры которых привязаны (обеспечивают прослеживаемость размера длины) к кристаллографическим параметрам кристалла. Предложен метод создания таких мер, основанный на управлении морфологией поверхности монокристаллического кремния на атомном уровне за счет использования эффектов самоорганизации, возникающих на атомно-чистой поверхности при прогреве в сверхвысоком вакууме. Представлено описание комплекта высокоточных мер вертикальных размеров «СТЕПП-ИФП-1» в диапазоне размеров 0.31–31 нм с погрешностью во всем интервале измерений менее 0.05 нм. Разработанный комплект высокоточных мер после проведения государственных испытаний внесен в государственный реестр средств измерений как тип средства измерений № 48115-11 (Приказ Росстандарта № 6290 от 31.10.2011 г.)
Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)