Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
 Найдено в других БД:Публикации об УрО РАН (1)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=САПФИР<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/П 76
Автор(ы) : Александров П. А., Демаков К. Д., Шемардов С. Г., Кузнецов Ю. Ю.
Заглавие : Применение имплантации ионов кислорода и процесса твердофазной рекристаллизации для улучшения кристаллической структуры кремния на сапфире
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 54-56: рис. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 56 (17 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): твердофазная рекристаллизация--имплантация ионов--кислород--кремний--сапфир
Найти похожие

2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 74
Автор(ы) : Теплова Т. Б., Гридин О. М., Соловьев В. В., Ашкинази Е. Е., Ральченко В. Г.
Заглавие : Моделирование процесса квазипластичной поверхностной обработки твердых хрупких материалов электронной техники
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 17-23: рис., табл. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр. : с. 23 (7 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): материалы кристаллические твердые--обработка поверхностная квазипластичная--микроэлектроника
Аннотация: В настоящее время появляется значительный интерес к использованию в микроэлектронике очень твердых кристаллических материалов, таких как сапфир или алмаз. Для их применения требуется высококачественная обработанная поверхность с минимальной дефектностью подповерхностного слоя. Квазипластичное послойное разрушение сверхтонких слоев в твердых материалах их обработке было исследовано в наших экспериментах
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика