Поисковый запрос: (<.>K=СЕНСОРЫ<.>) |
Общее количество найденных документов : 24
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Вернер В. Д. МЭМС и третья индустриальная /В. Д. Вернер, П. П. Мальцев, А. Н. Сауров // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 11.-С.2-5
|
2.
| Мальцева Е. О. Активные нанокомплексы в низкопороговом лазере /Е. О. Мальцева, А. С. Кучьянов, А. И. Плеханов // Российские нанотехнологии, 2012. т.Т. 7,N № 9-10.-С.62-64
|
3.
| Полупроводниковые газовые сенсоры с мембранной структурой для пожарных извешателей /Ю. З. Бубнов, Л. Н. Вишевник, И. В. Сердюк, М. С. Смирнов // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 8.-С.45-49
|
4.
| Раткин Л. С. Современные технологии производства МЭМС /Л. С. Раткин // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 3.-С.23-24
|
5.
| Терморезисторные датчики измерения изменений уровня криогенных сред /И. И. Гончар, Л. Н. Киселев, А. Н. Михайлов, В. Г. Певгов, А. В. Семенов, В. А. Шубарев // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 8.-С.41-45
|
6.
| Гридчин В. А. Влияние термических деформаций на температурную стабильность характеристик кремниевых резонансных сенсоров давления /В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Ю. Васильев // Нано- и микросистемная техника , 2013. т.№ 3.-С.41-44
|
7.
| Тутов Е. А. Адсорбционно-стимулированный фазовый переход полупроводник — металл в диоксиде ванадия /Е. А. Тутов // Нано- и микросистемная техника , 2013. т.№ 9.-С.26-28
|
8.
| Вакуумплотное матричное корпусирование сенсорных микроэлектромеханических систем (аналитический обзор). Часть 2*. формирование вакуумплотных электрических выводов, способы сохранения и контроля вакуума в рабочих полостях и общие тенденции развития технологии корпусирования с МЭМС/П. Г. Бабаевский , С. А. Жукова, Д. Ю. Обижаев, Е. А. Гринькин, В. Е. Турков, Г. М. Резниченко, Д. Д. Рискин, Ю. А. Бычкова // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 4.-С.3-11
|
9.
| Богданов С. А. Моделирование газовой чувствительности кондуктометрических сенсоров на основе неоднородных полупроводников /С. А. Богданов // Нано- и микросистемная техника , 2013. т.№ 9.-С.2-7
|
10.
| Исследование сенсорных свойств перколированных сеток из углеродных нанотрубок и нановолокон ZnO // Нано- и микросистемная техника , 2013. т.№ 6.-С.32-37
|
|
|