Центральная Научная Библиотека УрО РАН

Главная

Новые поступления

Описание

Базы данных

Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Каталог книг и продолжающихся изданий

Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН

Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН

Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )

Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)

Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)

Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН

Публикации об УрО РАН

Изобретения уральских ученых

Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)

Нанотехнологии

Демидовские премии

Гибель династии Романовых

История Урала

Личная библиотека С. В. Вонсовского

Книжная коллекция Шубиных

Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Труды Института истории и археологии УрО РАН

Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН

Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН

Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН

Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН

Расплавы

Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН

Публикации Черешнева В.А.

Публикации Чарушина В.Н.

Каталог библиотеки ИГД УрО РАН

Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН

Электронная энциклопедия «Дискурсология»

Библиометрия

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=ТЕХНОЛОГИИ ЗОНДОВЫЕ НАНОЛОКАЛЬНЫЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/М 73
Автор(ы) : Дубовой А. Н., Родионов Б. Н., Егоров С. Д., Мазур С. Н., Коротеев А. В., Степанов М. В., Хлюстов П. М.
Заглавие : Многокластерная нанотехнологическая установка для исследования и изготовления наносхем и функциональных наносистем для систем энергообеспечения космических аппаратов
Место публикации : Нанотехника. - 2013. - № 1. - С. 91-104: рис. - ISSN 1816-4498. - ISSN 1816-4498
Примечания : Библиогр.: с. 104 (104 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наносхемы--энергообеспечение--аппараты космические--установка многокластерная нанотехнологическая--мкнту--наноосаждения--модуль"суперкомпьютер"--наносистемы--технологии зондовые нанолокальные
Аннотация: Мульти кластера Nano технический комплекс (MCNTC) с открытой архитектурой описывается. Проявляются структуру и возможности транспорта, технологического, аналитические модули MCNTC. В групповых MCNTC плазменных технологий очистки, седиментации, травления (ПК, ПХО, ПЭ, РИТ, DLC) и нанолокальной технология нанопротравливания и nanodeposition Зонд технологий (NLZPE, NLZCVD) реализуются. Модульная открытая архитектура, позволяет обеспечить гибкую автоматическую MCNTC управления и увеличить свои транспортные, технологические, аналитические возможности. Решение компонента MCNTC является модуль «Суперкомпьютер». Это позволяет организовать закрыл нанотехнологий линии дизайн-центр + nanofabric. Модуль «Суперкомпьютер» позволит моделировать и проектные микроструктуры, наноэлементов, nanocircuts, функциональные наносистемы, МЭМС, НЭМС, которые могут быть сделаны на MCNTC
Найти похожие

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН

  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)