Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ<.>) |
Общее количество найденных документов : 23
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Томош К. Н. Характеристики и использование вч и свч разрядов при создании твердотельных полупроводниковых приборов/К. Н. Томош // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 5.-С.47-52
|
2.
| Кузнецова М. А. Формирование карбидокремниевых автоэмиссионных острий методом остросфокусированного ионного пучка /М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 12.-С.35-40
|
3.
| Формирование интегрированных наноразмерных графеновых структур при фокусированном ионном травлении /И. И. Бобринецкий, К. В. Горшков, В. К. Неволин, К. А. Царик // Российские нанотехнологии, 2010. т.Т. 5 ,N № 5-6 .-С.66-70
|
4.
| Кузнецова М. А. Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий микро- и наносистемной техники/М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин, А. Ю. Савенко // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 8.-С.24-32
|
5.
| Мустафаев А. Г. Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов /А. Г. Мустафаев, А. М. Савинова, П. М. Мирзаева // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 3.-С.20-23
|
6.
| Технологии формирования и применение нанослоев и нанопористых композиций Аl 2О 3 для микро-и нанотехники /Т. М. Зимина, Е. Н. Муратова, Ю. М. Спивак, В. Е. Дрозд, А. А. Романов // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 12.-С.15-24
|
7.
| Тест-объекты с прямоугольным и трапециевидным профилями рельефа для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии/В. Гавриленко [и др.] // Наноиндустрия, 2008. т.№ 4.-С.24-30
|
8.
| Одиноков В. Специальное оборудование для нанесения пленок и отжига материалов/В. Одиноков, Ю. Бараник, В. Рагузин // Наноиндустрия, 2009. т.№ 3.-С.4-8
|
9.
| Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в хлороводороде /А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, С. П. Капинос, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Нанотехника, 2012. т.№ 1.-С.93-95
|
10.
| Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди/Р. А. Милованов, Е. А. Кельм, О. А. Косичкин, Н. А. Ляпунов // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.30-32
|
|
|