Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ<.>) |
Общее количество найденных документов : 23
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Абдуллаев Д. А. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния/Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 2.-С.17-19
|
2.
| Галперин В. А. Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора/В. А. Галперин, Н. А. Разживин // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 6.-С.12-15
|
3.
| Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях/В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - 2010
|
4.
| Горнев Е. С. Процесс реактивно-ионного травления контактных окон в смеси на основе C4F 8 для технологии менее 0,25 мкм/Е. С. Горнев, С. И. Янович // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 8.-С.16-20
|
5.
| Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивируюших слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов/Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм, Р. А. Милованов // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.35-39
|
6.
| Кинетика травления неорганического "жертвенного" слоя при изготовлении чувствительных элементов инерциальных датчиков по технологии кремний-на-изоляторе/Н. Ю. Фирсова, А. С. Елшин, М. А. Марченкова, А. К. Болотов, М. С. Иванов, И. П. Пронин, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, Е. Д. Мишина // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 7.-С.38-43
|
7.
| Кузнецова М. А. Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий микро- и наносистемной техники/М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин, А. Ю. Савенко // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 8.-С.24-32
|
8.
| Кузнецова М. А. Формирование карбидокремниевых автоэмиссионных острий методом остросфокусированного ионного пучка /М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 12.-С.35-40
|
9.
| Лучинин В. В. Процессы препарирования при реинжиниринге изделий микротехники /В. В. Лучинин, М. А. Усикова // Нано- и микросистемная техника , 2010. т.№ 3.-С.31-43
|
10.
| Микроэлектромеханические коммутаторы для радиочастотных устройств/В. А. Власенко [и др.] // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 10.-С.30-34
|
|
|