Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ<.>) |
Общее количество найденных документов : 23
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Тест-объекты с прямоугольным и трапециевидным профилями рельефа для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии/В. Гавриленко [и др.] // Наноиндустрия, 2008. т.№ 4.-С.24-30
|
2.
| Мустафаев Г. А. Разработка процесса формирования глубокой изоляции структур кремний на изоляторе/Г. А. Мустафаев, А. Г. Мустафаев // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 1.-С.30-32
|
3.
| Одиноков В. Специальное оборудование для нанесения пленок и отжига материалов/В. Одиноков, Ю. Бараник, В. Рагузин // Наноиндустрия, 2009. т.№ 3.-С.4-8
|
4.
| Кузнецова М. А. Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий микро- и наносистемной техники/М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин, А. Ю. Савенко // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 8.-С.24-32
|
5.
| Микроэлектромеханические коммутаторы для радиочастотных устройств/В. А. Власенко [и др.] // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 10.-С.30-34
|
6.
| Лучинин В. В. Процессы препарирования при реинжиниринге изделий микротехники /В. В. Лучинин, М. А. Усикова // Нано- и микросистемная техника , 2010. т.№ 3.-С.31-43
|
7.
| Формирование интегрированных наноразмерных графеновых структур при фокусированном ионном травлении /И. И. Бобринецкий, К. В. Горшков, В. К. Неволин, К. А. Царик // Российские нанотехнологии, 2010. т.Т. 5 ,N № 5-6 .-С.66-70
|
8.
| Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях/В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - 2010
|
9.
| Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде /С. А. Пивоваренок [и др.] // Нанотехника, 2011. т.№ 1.-С.69-71
|
10.
| ОСобенности формирования маски пористого анодного оксида алюминия для плазменного локального травления кремния /А. Н. Белов [и др.] // Российские нанотехнологии, 2011. т.Т. 6,N № 11-12.-С.48-52
|
|
|