Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска
Каталог книг и продолжающихся изданий
Сводный каталог иностранных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Сводный каталог отечественных периодических изданий, имеющихся в библиотеках УрО РАН
Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН
Каталог препринтов УрО РАН (1975 г. - )
Имидж-каталог отечественных книг (до 2010 г.)
Имидж-каталог иностранных книг (до 2010 г.)
Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН
Публикации об УрО РАН
Изобретения уральских ученых
Интеллектуальная собственность (статьи из периодики)
Нанотехнологии
Демидовские премии
Гибель династии Романовых
История Урала
Личная библиотека С. В. Вонсовского
Книжная коллекция Шубиных
Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН
Труды Института истории и археологии УрО РАН
Труды сотрудников Института горного дела УрО РАН
Труды сотрудников Института органического синтеза УрО РАН
Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН
Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН
Расплавы
Труды сотрудников ЦНБ УрО РАН
Публикации Черешнева В.А.
Публикации Чарушина В.Н.
Каталог библиотеки ИЭРиЖ УрО РАН
Электронная энциклопедия «Дискурсология»
Библиометрия
Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (8)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (4)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (5)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 23
Показаны документы с 1 по 20
 1-20    21-23 
1.

Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивируюших слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов/Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм, Р. А. Милованов // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.35-39
2.

Галперин В. А. Исследование процесса контролируемого плазменного сокращения размеров затвора/В. А. Галперин, Н. А. Разживин // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 6.-С.12-15
3.

Кинетика травления неорганического "жертвенного" слоя при изготовлении чувствительных элементов инерциальных датчиков по технологии кремний-на-изоляторе/Н. Ю. Фирсова, А. С. Елшин, М. А. Марченкова, А. К. Болотов, М. С. Иванов, И. П. Пронин, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, Е. Д. Мишина // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 7.-С.38-43
4.

Микроэлектромеханические коммутаторы для радиочастотных устройств/В. А. Власенко [и др.] // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 10.-С.30-34
5.

Уваров И. В. Особенности изготовления металлических кантилеверов наноразмерной толщины/И. В. Уваров, В. В. Наумов, И. И. Амиров // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.5-9
6.

ОСобенности формирования маски пористого анодного оксида алюминия для плазменного локального травления кремния /А. Н. Белов [и др.] // Российские нанотехнологии, 2011. т.Т. 6,N № 11-12.-С.48-52
7.

Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде /С. А. Пивоваренок [и др.] // Нанотехника, 2011. т.№ 1.-С.69-71
8.

Ткачева А. А. Плазменное травление GaN и его твердых растворов: достижения и перспективы /А. А. Ткачева // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 6.-С.21-25
9.

Горнев Е. С. Процесс реактивно-ионного травления контактных окон в смеси на основе C4F 8 для технологии менее 0,25 мкм/Е. С. Горнев, С. И. Янович // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 8.-С.16-20
10.

Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях/В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - 2010
11.

Лучинин В. В. Процессы препарирования при реинжиниринге изделий микротехники /В. В. Лучинин, М. А. Усикова // Нано- и микросистемная техника , 2010. т.№ 3.-С.31-43
12.

Мустафаев Г. А. Разработка процесса формирования глубокой изоляции структур кремний на изоляторе/Г. А. Мустафаев, А. Г. Мустафаев // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 1.-С.30-32
13.

Абдуллаев Д. А. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния/Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 2.-С.17-19
14.

Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди/Р. А. Милованов, Е. А. Кельм, О. А. Косичкин, Н. А. Ляпунов // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.30-32
15.

Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в хлороводороде /А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, С. П. Капинос, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Нанотехника, 2012. т.№ 1.-С.93-95
16.

Одиноков В. Специальное оборудование для нанесения пленок и отжига материалов/В. Одиноков, Ю. Бараник, В. Рагузин // Наноиндустрия, 2009. т.№ 3.-С.4-8
17.

Тест-объекты с прямоугольным и трапециевидным профилями рельефа для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии/В. Гавриленко [и др.] // Наноиндустрия, 2008. т.№ 4.-С.24-30
18.

Технологии формирования и применение нанослоев и нанопористых композиций Аl 2О 3 для микро-и нанотехники /Т. М. Зимина, Е. Н. Муратова, Ю. М. Спивак, В. Е. Дрозд, А. А. Романов // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 12.-С.15-24
19.

Мустафаев А. Г. Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов /А. Г. Мустафаев, А. М. Савинова, П. М. Мирзаева // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 3.-С.20-23
20.

Кузнецова М. А. Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий микро- и наносистемной техники/М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин, А. Ю. Савенко // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 8.-С.24-32
 1-20    21-23 
 
Описание базы данных
Стандартный
По словарю
Расширенный
ГРНТИ-навигатор
Статистика обращений

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика