Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
в найденном
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (8)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (4)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (5)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационный краткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ТРАВЛЕНИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 23
Показаны документы с 1 по 20
 1-20    21-23 
1.

Тест-объекты с прямоугольным и трапециевидным профилями рельефа для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии/В. Гавриленко [и др.] // Наноиндустрия, 2008. т.№ 4.-С.24-30
2.

Мустафаев Г. А. Разработка процесса формирования глубокой изоляции структур кремний на изоляторе/Г. А. Мустафаев, А. Г. Мустафаев // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 1.-С.30-32
3.

Одиноков В. Специальное оборудование для нанесения пленок и отжига материалов/В. Одиноков, Ю. Бараник, В. Рагузин // Наноиндустрия, 2009. т.№ 3.-С.4-8
4.

Кузнецова М. А. Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий микро- и наносистемной техники/М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин, А. Ю. Савенко // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 8.-С.24-32
5.

Микроэлектромеханические коммутаторы для радиочастотных устройств/В. А. Власенко [и др.] // Нано- и микросистемная техника , 2009. т.№ 10.-С.30-34
6.

Лучинин В. В. Процессы препарирования при реинжиниринге изделий микротехники /В. В. Лучинин, М. А. Усикова // Нано- и микросистемная техника , 2010. т.№ 3.-С.31-43
7.

Формирование интегрированных наноразмерных графеновых структур при фокусированном ионном травлении /И. И. Бобринецкий, К. В. Горшков, В. К. Неволин, К. А. Царик // Российские нанотехнологии, 2010. т.Т. 5 ,N № 5-6 .-С.66-70
8.

Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях/В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - 2010
9.

Плазменное наноразмерное травление GaAs в хлоре и хлороводороде /С. А. Пивоваренок [и др.] // Нанотехника, 2011. т.№ 1.-С.69-71
10.

ОСобенности формирования маски пористого анодного оксида алюминия для плазменного локального травления кремния /А. Н. Белов [и др.] // Российские нанотехнологии, 2011. т.Т. 6,N № 11-12.-С.48-52
11.

Мустафаев А. Г. Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов /А. Г. Мустафаев, А. М. Савинова, П. М. Мирзаева // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 3.-С.20-23
12.

Ткачева А. А. Плазменное травление GaN и его твердых растворов: достижения и перспективы /А. А. Ткачева // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 6.-С.21-25
13.

Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в хлороводороде /А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, С. П. Капинос, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Нанотехника, 2012. т.№ 1.-С.93-95
14.

Технологии формирования и применение нанослоев и нанопористых композиций Аl 2О 3 для микро-и нанотехники /Т. М. Зимина, Е. Н. Муратова, Ю. М. Спивак, В. Е. Дрозд, А. А. Романов // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 12.-С.15-24
15.

Кузнецова М. А. Формирование карбидокремниевых автоэмиссионных острий методом остросфокусированного ионного пучка /М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника , 2012. т.№ 12.-С.35-40
16.

Уваров И. В. Особенности изготовления металлических кантилеверов наноразмерной толщины/И. В. Уваров, В. В. Наумов, И. И. Амиров // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.5-9
17.

Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди/Р. А. Милованов, Е. А. Кельм, О. А. Косичкин, Н. А. Ляпунов // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.30-32
18.

Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивируюших слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов/Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм, Р. А. Милованов // Нано- и микросистемная техника, 2013. т.№ 11.-С.35-39
19.

Абдуллаев Д. А. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния/Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 2.-С.17-19
20.

Томош К. Н. Характеристики и использование вч и свч разрядов при создании твердотельных полупроводниковых приборов/К. Н. Томош // Нано- и микросистемная техника, 2014. т.№ 5.-С.47-52
 1-20    21-23 
 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика