Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (4)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (3)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (2)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (7)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (8)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (21)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   А 16


    Абросимова, Н. Д.
    Повышение информативности эллипсометрических измерений параметров гетероструктур "кремний-на-диэлектрике" / Н. Д. Абросимова, В. К. Смолин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 26-27. - Библиогр.: с. 27 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- СТРУКТУРЫ КНД, КНС, КНИ
Аннотация: Рассмотрены вопросы контроля приборных слоев полупроводниковых гетероструктур с использованием метода эллипсометрии. Показана информативность разработанных методик

Найти похожие

2.
Инвентарный номер: нет.
   
   Э 47


   
    Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением / В. А. Швец [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 106-118 : ил. - Библиогр. : с. 117-118 (65 назв.)
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ПРЕЦИЗИОННЫЙ МЕТОД -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ -- ОПТИЧЕСКАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ

Найти похожие

3.
Инвентарный номер: И-13751 - кх.
   539.2
   E 46


   
    Ellipsometry at the Nanoscale [Text] : сборник / eds. M. Losurdo, K. Hingerl. - Berlin [et al.] : Springer, 2013. - XVIII, 730 p. : il. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-3-642-33955-4 : 11243.00 р.
ГРНТИ
ББК 539.212.6с343.54
Рубрики: ФИЗИКА--КРИСТАЛЛОГРАФИЯ--ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА

  Оглавление
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика