Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
 Найдено в других БД:Каталог книг и продолжающихся изданий (4)Каталог диссертаций и авторефератов диссертаций УрО РАН (3)Алфавитно-предметный указатель (АПУ) ЦНБ УрО РАН (2)Труды Института высокотемпературной электрохимии УрО РАН (7)Труды сотрудников Института теплофизики УрО РАН (8)Труды сотрудников Института химии твердого тела УрО РАН (21)
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 620.3/А 16
Автор(ы) : Абросимова Н. Д., Смолин В. К.
Заглавие : Повышение информативности эллипсометрических измерений параметров гетероструктур "кремний-на-диэлектрике"
Место публикации : Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 26-27. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 27 (10 назв.)
УДК : 620.3
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): эллипсометрия--гетероструктуры--структуры кнд, кнс, кни
Аннотация: Рассмотрены вопросы контроля приборных слоев полупроводниковых гетероструктур с использованием метода эллипсометрии. Показана информативность разработанных методик
Найти похожие

2.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 623.7/Э 47
Автор(ы) : Швец В. А., Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Михайлов Н. Н.
Заглавие : Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением
Место публикации : Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 106-118: ил.
Примечания : Библиогр. : с. 117-118 (65 назв.)
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): прецизионный метод--тонкопленочные структуры--оптическая эллипсометрия
Найти похожие

3.

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 539.2/E 46
Заглавие : Ellipsometry at the Nanoscale : сборник
Выходные данные : Berlin [et al.]: Springer, 2013
Колич.характеристики :XVIII, 730 с.: il.
Примечания : Библиогр. в конце глав.
ISBN, Цена 978-3-642-33955-4: 11243.00 р.
ГРНТИ : 29.19
ББК : 539.212.6с343.54
Предметные рубрики: ФИЗИКА-- КРИСТАЛЛОГРАФИЯ-- ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА
Экземпляры :кх(1)
Свободны : кх(1)
  Оглавление
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика