Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>U=537.9:621.793<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 537.9:621.793/К 61
Автор(ы) : Колпаков А. Я., Поплавский А. И., Галкина М. Е., Беляева А. О., Герус Ж. В.
Заглавие : Влияние отжига в вакууме на внутренние напряжения в углеродных покрытиях, сформированных при различной ориентации подложки относительно оси потока импульсной углеродной плазмы
Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 25-28. - ISSN 1813-8586. - ISSN 1813-8586
Примечания : Библиогр.: с. 28 (10 назв.)
УДК : 537.9:621.793
ББК : 623.7
Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): внутренние напряжения--отжиг--аморфные углеродные --дефекты--алмазоподобные покрытия
Аннотация: Исследовано влияние вакуумного отжига на значение внутренних напряжений в аморфных углеродных алмазоподобных покрытиях двух типов, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом при различной ориентации подложки относительно оси потока углеродной плазмы (DLC-I, DLC-II). Полученные результаты могут быть использованы при выборе режимов термообработки этих покрытий в целях снижения внутренних напряжений, что позволит расширить область применения DLC покрытий в микромеханике и МЭМС
Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика