Главная Новые поступления Описание Шлюз Z39.50

Базы данных


Нанотехнологии - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Инвентарный номер: нет.
   
   Т 38


   
    Технология формирования интегральной микрофлюидной КМОП-системы с нанопроволочными чувствительными элементами / О. В. Чуйко, Е. В. Кузнецов, М. И. Савельев, Н. В. Комарова, М. С. Сироткина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 23-25. - Библиогр.: с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
ИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ПОЛЕВОЙ ТРАНЗИСТОР -- КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- МИКРОФЛЮИДНАЯ СИСТЕМА -- СИСТЕМА "LAB ON CHIP" -- КОРПУСИРОВАНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ
Аннотация: Представлен технологический маршрут изготовления микросистемы, объединяющей в себе интегральное изготовление нанопроволочного ISFET-биосенсора, совмещенного с КМОП-технологией, и микрофлюидной системы на этапе корпусирования и герметизации ИС

Найти похожие

 

Сиглы отделов ЦНБ УрО РАН


  бр.ф. - Бронированный фонд

  бф - Научно-библиографический отдел

  БХЛ - Фонд художественной литературы

  ИИиА -Фонд исторической литературы в ЦНБ УрО РАН

  ИМЕТ -Отдел ЦНБ в Институте металлургии УрО РАН

  кх - Отдел фондов (книгохранениe)

  МБА - Межбиблиотечный абонемент

  мф - Методический фонд

  ок - Отдел научной каталогизации

  оку - Отдел комплектования и учета

  орф - Обменно-резервный фонд

  пф - Читальный зал деловой и патентной информации

  рк - Фонд редкой книги

  ч/з - Главный читальный зал

  эр - Зал электронных ресурсов

  

Сиглы библиотек институтов и НЦ УрО РАН
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)
Яндекс.Метрика