М 33 Матвеев, В. В. Выбор ориентации топологии микрогироскопа на пластине монокристаллического кремния [Текст] / В. В. Матвеев, В. Я. Распопов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 44-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП -- АНИЗОТРОПИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ |