И 88 Исследование режимов фотонно-стимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана [Текст] / О. А. Агеев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 14-16 : рис. - Библиогр.: с. 16 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АНОДНОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ПЛЕНКИ -- ТИТАН |