О-62 Определение геометрических параметров массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии / О. А. Агеев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 9-13 : табл., рис. - Библиогр. : с. 13 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОДИАГНОСТИКА -- РЕЖИМЫ СКАНИРОВАНИЯ АСМ -- МИКРОСКОПИЯ РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ -- НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований геометрических параметров углеродных нанотрубок и плотности массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ) в контактном, полуконтактном и бесконтактном режимах атомно-силовой микроскопии (АСМ). Разработана экспресс-методика определения высоты массива ВОУНТ методом АСМ, с использованием которой определены значения максимальной и средней высоты нанотрубок в экспериментальном образце массива ВОУНТ, которые составили 1,98 мкм и 1,12 ± 0,45 мкм соответственно. В бесконтактном режиме АСМ определена плотность нанотрубок в экспериментальном образце массива ВОУНТ, равная 31 мкм-2. Полученные результаты могут быть использованы при разработке методов нанодиагностики, а также технологических процессов формирования элементов микро- и наноэлектроники на основе ВОУНТ |
Р 17 Разработка методики определения модуля юнга вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом наноиндентирования / О. А. Агеев [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 54-59 : табл., рис. - Библиогр. : с. 59 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТРУБКИ -- МЕТОД НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ -- МОДУЛЬ ЮНГА -- ВОУНТ Аннотация: В работе представлены результаты разработки методики определения модуля Юнга вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ) с использованием уточненной микромеханической модели процесса наноиндентирования массива ВОУНТ. Представлены результаты экспериментальных исследований по определению модуля Юнга ВОУНТ с различными геометрическими параметрами. Показано, что для массива ВОУНТ с эффективным диаметром углеродных нанотрубок (УНТ) около 100 нм и эффективной высотой УНТ около 2 мкм, а также для массива ВОУНТ с эффективным диаметром УНТ около 52 нм и эффективной высотой УНТ около 500 нм, значения модуля Юнга составили 1.68+0.08 ТПа и 1.01+0.05 ТПа соответственно. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов формирования структур нано- и микроэлектроники, нано- и микросистемной техники на основе вертикально ориентированных массивов углеродных нанотрубок |