М 61 Миниатюрные датчики внутри машин следят за "здоровьем" деталей [Текст] // Нанотехнологии: наука и производство. - 2008. - № 1. - С. 26
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИНИАТЮРНЫЕ -- НАНОСТРУКТУРЫ (МЕХАНИКА) Аннотация: Поддержание в работоспособном состоянии многотонных турбин электростанций требует периодической остановки агрегатов для частичной разборки и измерения износа, что обходится в сотни тысяч долларов. Теперь создан датчик, способный доставлять из самого "пекла" информацию о состоянии узла в реальном времени |
О-75 Особенности характеристик КНИ полевых датчиков Холла с двучзатворной управляющей системой типа металл-диэлектрик-полупроводник-диэлектрик-металл [Текст] / М. Л. Бараночников [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 45-48 : рис. - Библиогр. : с. 48 (6 назв.)
Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КНИ-СТРУКТУРА -- ПОЛЕВОЙ ДАТЧИК ХОЛЛА -- ДВУХЗАТВОРНАЯ УПРАВЛЯЮЩАЯ СИСТЕМА -- МОП-ТРАНЗИСТОР -- ТОК-ЗАТВОРНЫЕ И ХОЛЛ-ЗАТВОРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Аннотация: Проведены измерения ток-затворных и холл-затворных характеристик КНИ полевых датчиков Холла с двухзатворной управляющей системой типа металл-диэлектрик-полупроводник-диэлектрик-металл. Продемонстрирована возможность управления характеристиками КНИ ПДХ путем раздельного и совместного упрваления потенциалами затворов. |
Р 17 Разработка и создание опытных образцов искусственных тактильных механорецепторов для эндоскопии [Текст] / В. В. Амеличев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 30-33 : рис. - Библиогр. : с. 33 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТРАНСПОРТ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТАКТИЛЬНЫЙ ДАТЧИК |
Б 26 Барулина, М. А. Миниатюрный датчик давления для мониторинга и диагностики ракетно-космической техники в условиях механических и тепловых воздействий / М. А. Барулина, В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 6. - С. 26-29 : рис., табл. - Библиогр. : с. 29 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРНЫЕ ПОЛЯ -- ТЕПЛОВЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ |
М 17 Максимов, Е. М. К вопросу о чувствительности многослойного тонкопленочного магниторезистивного датчика / Е. М. Максимов // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 12. - С. 45-49 : рис. - Библиогр. : с. 49 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛЕ МАГНИТНОЕ -- ДАТЧИК МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- СХЕМОТЕХНИКА |
И 74 Информационно-измерительные микросистемы для подвижных объектов / В. Я. Распопов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 27-34 : рис., табл. - Библиогр. : с. 34 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК УРОВНЯ -- ДАТЧИК ПИРОМЕТРИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК МАГНИТНЫЙ -- ДАТЧИК УГЛОВОЙ СКОРОСТИ |
Д 40 Джашитов, В. Э. Теоретические основы разработки и создания суперминиатюрного микромеханического многофункционального датчика инерциааьной информации / В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов, М. А. Барулина // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 46-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ИНЕРЦИОНАЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ -- УРАВНЕНИЯ ДВИЖЕНИЯ -- СОСТОЯНИЕ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННОЕ Аннотация: Рассмотрена возможность создания суперминиатюрного (объем < 1 мм3) микромеханического многофункционального (гироскоп + акселерометp) датчика инерциальной информации. Выведены и проанализированы уравнения движения датчика на произвольно движущемся основании с учетом температурных возмущений и технологических факторов. Предложены возможные конструктивные варианты упругого подвеса датчика. Получены с помощью построенных конечно-элементных моделей оценки напряженно-деформированного состояния датчика при механических и тепловых воздействиях. Проведена оценка эффективности функционирования датчика с учетом температурных и технологических погрешностей |
М 74 Моделирование датчика вибраций на сдвиговом пьезоэффекте / В. Н. Митько, А. А. Панич [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 17-19 : рис. - Библиогр. : с. 19 (1 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ СДВИГОВЫЙ -- МЕТОД КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ Аннотация: Рассматривается датчик вибраций на сдвиговом пьезоэффекте. В качестве чувствительных элементов датчика используется Y-срез пьезокристаллов лангатата. Методом конечных элементов рассчитывается виброчувствительность датчика |
М 59 Микроэлектронные преобразователи давления для средств регулирования и мониторинга технологических процессов в энергосберегающих системах / Д. В. Гусев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕПЛОАВТОМАТИКА -- ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ Аннотация: Рассматриваются конструкции микроэлектронных преобразователей давления, выполненных на базе кремниевых структур. Приведена конструкция, обеспечивающая защиту микроэлектронного преобразователя от воздействия окружающей среды, а также варианты использования в системах теплоавтоматики |
П 96 Пьезоэлектрический датчик магнитного поля на основе планарной биморфной структуры с током / Ю. К. Фетисов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 45-48 : рис. - Библиогр. : с. 48 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- СТРУКТУРА БИМОРФНАЯ -- ПЬЕЗОЭЛЕКТРИК -- ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТ СВИНЦА Аннотация: Описан пьезоэлектрический датчик постоянных магнитных полей в виде планарной биморфной структуры из цирконата-титаната свинца с дополнительным токовым проводником. Принцип работы датчика основан на комбинации силы Ампера и пьезоэффекта. Чувствительность датчика на частоте резонанса изгибных колебаний структуры составляет 10 В / (А . кЭ), а напряженность минимального регистрируемого поля -0,1 Э |
Д 40 Джашитов, В. Э. Суперминиатюрный микромеханический датчик инерциальной информации в условиях переменных и постоянных механических воздействий / В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 39-43 : рис. - Библиогр. : с. 43 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ИНЕРЦИАЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ -- ДАТЧИК СУПЕРМИНИАТЮРНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ВОЗДЕЙСТВИЯ ПОСТОЯННЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ -- МОДЕЛИ МАТЕМАТИЧЕСКИЕ Аннотация: Построены математические модели, разработано поддерживающее программное обеспечение и изучено влияние постоянных и вибрационных, поступательных и угловых ускорений на функционирование суnерминиатюрного (объем < 0,2 мм3) микромеханического датчика инерциальной информации. Получены качественные и количественные оценки такого влияния на выходные характеристики датчика, выявлены наиболее неблагоприятные механические воздействия и их сочетания. Полученные данные позволят создать суnерминиатюрный микромеханический гироскоп с заданными свойствами |
Д 40 Джашитов, В. Э. Суперминиатюрный микромеханический датчик инерциааьной информации в условиях тепловых воздействий / В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 18-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК СУПЕРМИНИАТЮРНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК ИНЕРЦИАЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ -- ВОЗДЕЙСТВИЯ ТЕПЛОВЫЕ -- МОДЕЛИ МАТЕМАТИЧЕСКИЕ Аннотация: Построены и исследованы математические модели тепловых процессов суперминиатюрного (объем < 0,2 мм3) микромеханического датчика инерциальной информации. Разработано поддерживающее программное обеспечение, позволяющее решать задачи расчета, анализа и визуализации нестационарных температурных полей датчика, веден качественный и количественный анализ влияния внешних и внутренних тепловых воздействий на температурные поля датчика, показана возможность убавления этими полями. Полученные данные позволят создать суперминиатюрный микромеханический гироскоп с заданными свойствами и инвариантный к тепловым воздействиям |
П 96 Пьезоэлектрический резонансный датчик магнитного поля на основе планарной биморфной структуры с возбуждающей электромагнитной катушкой / А. А. Сопильняк [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 33-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- КАТУШКА ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ВОЗБУЖДАЮЩАЯ -- СТРУКТУРА БИМОРФНАЯ ПЛАНАРНАЯ -- ДАТЧИК РЕЗОНАНСНЫЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- СИЛА АМПЕРА -- ЦИРКОНАТ- ТИТТАНАТ СВИНЦА Аннотация: Описан пьезоэлектрический датчик постоянных магнитных полей на основе планарной биморфной структуры из цирконата титаната свинца, возбуждаемый электромагнитной катушкой. Датчик использует силу Ампера, пьезоэффект и резонанс изгибных колебаний структуры для увеличения выходного напряжения. Датчик имеет чувствительность ~250 В/(А-Тл) и линейную зависимость выходного напряжения от поля в диапазоне полей ~10-5...0,3 Тл. Разработана методика расчета характеристик датчика |
Т 33 Тензорезистивный кремниевый МЭМС-преобразователь давления мембранного типа / В. С. Суханов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 36-37 : рис., табл. - Библиогр. : с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТИП МЕМБРАННЫЙ Аннотация: Описана конструкция кремниевого интегрального преобразователя давления мембранного типа с тремя жесткими центрами, изготовленного по групповой интегральной технологии размером 6,2 x 6,2 мм. Проведено моделирование чувствительного элемента (ЧЭ) давления с помощью ПО ANSYS методом конечных элементов. Представлена трехмерная модель чувствительного элемента давления с иллюстрацией механических напряжений и деформации мембраны чувствительного элемента. ЧЭ реализован в макетном образце первичного преобразователя давления, представлены характеристики макетного образца |
М 33 Матвеенко , О. С. Нано- и микросистемы для мониторинга параметров движения транспортных средств / О. С. Матвеенко , Д. Л. Гнатюк, Р. Р. Галиев // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 48-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНЫЙ -- МАГНИТОРЕЗИСТОР -- АМР Аннотация: Рассматривается возможность применения МЭМС- и НЭМС-структур для мониторинга параметров движения транспортных средств. Описаны конструкции магнитнорезистивных датчиков, а также магнитные датчики, сопряженные с aкселерометрaми |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 42-46 : рис. - Библиогр. : с.46 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВИБРАЦИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы повышения виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение стабильности тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 21-26 : рис. - Библиогр. : с. 26 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДЕФОРМАЦИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- НИМЭМС Аннотация: Рассмотрено повышение стабильности тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов |
Ф 45 Фетисов, Л. Ю. Резонансный магнитоэлектрический эффект в композитной структуре кварц - ферромагнетик / Л. Ю. Фетисов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 14-16 : рис. - Библиогр.: с. 16 (10 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КВАРЦ -- ФЕРРОМАГНЕТИК АМОРФНЫЙ -- ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- ЭФФЕКТ МАГНИТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- СТРУКТУРА КОМПОЗИТНАЯ Аннотация: Исследован магнитоэлектрический эффект в слоистой композитной структуре, содержащей слой пьезоэлектрического кварца и аморфного магнитного сплава. Показано, что высокая акустическая добротность кварца приводит к существенному увеличению эффективности магнитоэлектрического взаимодействия. Структуры со слоями кварца могут быть использованы для создания датчиков магнитных полей и перестраиваемых резонаторов |
Д 20 Датчик постоянного магнитного поля на основе пьезоэлектрического преобразователя и многовиткового контура с током / А. Г. Итальянцев, Ю. В. Шульга, Ю. К. Фетисов, Д. В. Чашин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 41-45 : рис. - Библиогр.: с. 45 (3 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЦТС-КЕРАМИКА -- СИЛА АМПЕРА -- СТРУКТУРА БИМОРФНАЯ -- ЭЛЕМЕНТ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- КОНТУР МНОГОВИТКОВЫЙ Аннотация: Описана новая конструкция магниточувствительной MEMS, принцип действия которой основан на комбинации прямого пьезоэлектрического эффекта и силы Ампера. Теоретически и экспериментально обоснованы физические и конструкционные принципы увеличения чувствительности таких структур к постоянным магнитным полям. Выведено каноническое выражение для чувствительности первичных преобразователей на основе изгибного пьезоэлемента и многовиткового контура с током на резонансной частоте преобразователя. Экспериментально показано, что чувствительность предлагаемых MEMS многократно превышает чувствительность ближайших аналогов и достигает 104 В/(Тл-А) |
М 69 Михайлов, А. Н. Методология автоматизированного контроля параметров датчиков изделий микросистемотехники / А. Н. Михайлов, С. А. Берлик, Е. А. Михайлов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 22-24 : схема. - Библиогр.: с. 24 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК -- КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ -- МОДЕЛИ ПОВЕДЕНЧЕСКИЕ -- ПРОГРАММА ТЕСТОВАЯ Аннотация: Рассмотрены вопросы автоматизации разработки тестовых программ и их применения для контроля параметров датчиков изделий микросистемотехники на основе поведенческих моделей компонентов, входящих в состав датчиков. Поведенческие модели компонентов представляют собой тексты программных модулей, написанные на высокоуровневом языке описания аппаратуры (Hardware Description Language - HDL) |