Б 43 Белозубов, Е. М. Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС-СТРУКТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ |
О-42 Одиноков, В. Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок "МАГНА ТМ -200-01" [Текст] / В. Одиноков, Г. Павлов // Наноиндустрия. - 2008. - № 4. - С. 10-12 : рис., табл. - Библиогр.: с. 12 (2 назв.) . - ISSN 1993-8578
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ Аннотация: НИИ точного машиностроения (НИИТМ) специализируется на разработке вакуумного оборудования для нанесения тонких пленок, плазмохимического травления, ионной имплантации приповерхностных слоев, стимулированного плазмой газофазного осаждения, а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления и отжига. Приоритетным напрвлением деятельности являются разработки оборудования для реализации новых технологических процессов, применяемых в наноэлектронике, микромеханике, при синтезе наноматериалов |
А 74 Анцев, Г. В. Бесконтактные помехоустойчивые дптчики на поверхностных акустических волнах / Г. В. Анцев, С. В. Богословский, Г. А. Сапожников // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 8. - С. 38-43 : рис. - Библиогр. : с. 43 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ДИСПЕРСИОННЫЕ ЛИНИИ ЗАДЕРЖКИ -- АКУСТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение временной стабильности датчиков давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 31-38 : рис. - Библиогр. : с. 38 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИМЭМС -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СТАБИЛЬНОСТЬ -- ТЕМПЕРАТУРА -- КРИТЕРИЙ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Рассмотрена временная стабильность датчиков давления на основе тонкопленочных нано- и микросистем (НиМЭМС), выработаны условия и критерии временной стабильности. Предложен структурно-факторный метод повышения временной стабильности НиМЭМС. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных условий и критериев временной стабильности НиМЭМС |
В 19 Васильев , В. А. Датчики давления с частотным выходом на основе нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур / В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 19-24 : рис. - Библиогр. : с. 24 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЧАСТОТНЫЕ Аннотация: Поступила в редакцию 12.05.2011 Рассмотрены датчики давления с частотным выходным сигналом на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика и схемы частотных преобразователей |
Б 43 Белозубов, Е. М. Совершенствование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 27-33 : рис. - Библиогр. : с. 33 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- НИМЭМС -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены возможности улучшения характеристик тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков на их основе в условиях воздействия нестационарных температур |