Б 26 Барулина, М. А. Миниатюрный датчик давления для мониторинга и диагностики ракетно-космической техники в условиях механических и тепловых воздействий / М. А. Барулина, В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 6. - С. 26-29 : рис., табл. - Библиогр. : с. 29 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРНЫЕ ПОЛЯ -- ТЕПЛОВЫЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ |
Т 33 Тензорезистивный кремниевый МЭМС-преобразователь давления мембранного типа / В. С. Суханов [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 36-37 : рис., табл. - Библиогр. : с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТИП МЕМБРАННЫЙ Аннотация: Описана конструкция кремниевого интегрального преобразователя давления мембранного типа с тремя жесткими центрами, изготовленного по групповой интегральной технологии размером 6,2 x 6,2 мм. Проведено моделирование чувствительного элемента (ЧЭ) давления с помощью ПО ANSYS методом конечных элементов. Представлена трехмерная модель чувствительного элемента давления с иллюстрацией механических напряжений и деформации мембраны чувствительного элемента. ЧЭ реализован в макетном образце первичного преобразователя давления, представлены характеристики макетного образца |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев > // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 42-46 : рис. - Библиогр. : с.46 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВИБРАЦИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы повышения виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение стабильности тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев > // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 21-26 : рис. - Библиогр. : с. 26 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДЕФОРМАЦИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- НИМЭМС Аннотация: Рассмотрено повышение стабильности тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов |
И 73 Интегральные МЭМС-датчики с повышенной стабильностью выходных параметров / В. В. Пинаев, В. С. Суханов, В. В. Панков, Ю. А. Михайлов, Н. Л. Данилова, С. Ю. Былинкин, А. А. Гаврилов, А. Н. Шипунов> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 36-41 : рис. - Библиогр.: с. 41 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ЭЛЕМЕНТ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ -- СТАБИЛЬНОСТЬ ПАРАМЕТРОВ ВРЕМЕННАЯ -- ИСПЫТАНИЯ НА БЕЗОТКАЗНОСТЬ Аннотация: На примере изготовления чувствительных элементов датчиков давления и акселерометров рассмотрены технологические методики, обеспечивающие повышение временной стабильности их параметров. Приведены результаты ускоренных испытаний на безотказность макетных образцов. Расчетно-экспериментальным путем определены показатели надежности датчиков |
Г 21 Гаршин, А. Я. Дифференциальный датчик давления с импульсной компенсацией / А. Я. Гаршин, А. В. Тучин, Е. Н. Бормонтов> // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 25-26 : рис., табл. - Библиогр.: с. 26 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- КОМПЕНСАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ Аннотация: Рассмотрены МЭМС-датчики с емкостным съемом информации, использующие принцип обратного электростатического преобразования. Представлены конструкции и рабочие характеристики экспериментальных образцов: акселерометра и датчика дифференциального давления. Рассмотрены перспективные направления разработок компенсационных МЭМС-датчиков |