М 21 Малютин, Д. М. Микромеханический акселерометр прямого преобразования / Д. М. Малютин, М. Д. Малютина // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 4. - С. 35-38 : ил. - Библиогр. : с. 38 (3 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР -- ДИНАМИЧЕСКАЯ ОШИБКА |