С 40 Системы реологического типа для микро- и нанопозиционирования и виброизоляции / В. П. Михайлов, А. М. Базиненков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 45-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИСТЕМЫ ПОЗИЦИОНИРУЮЩИЕ И ВИБРОИЗОЛИРУЮЩИЕ -- ВЯЗКОСТЬ -- ЖИДКОСТИ МАГНИТО -И ЭЛЕКТРОРЕОЛОГИЧЕСКИЕ Аннотация: Современное прецизионное оборудование для электронных и машиностроительных технологий использует многокоординатные системы для сверхточного позиционирования. Представлены анализ, конструкции и параметры новых магнитореологических (МР), электрореологических (ЭР) и магнитореологических эластомерных (МЭ) позиционирующих устройств. Комбинация МР или ЭР замкнутого управления, упругих направляющих и тонкостенных герметизирующих элементов обеспечивает малую погрешность линейного (?100 нм) и углового (? 0,2") позиционирования, малую постоянную времени (? 200 мс), диапазон линейных перемещений по трем координатам X, Y, Z (1...10) мм и передаваемое усилие (1...1000) Н |