М 92 Мухуров, Н. И. Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР -- НАПРЯЖЕНИЕ -- ТОК -- ЗАРЯД -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции |
А 64 Анализ стабильности электрофизических характеристик пьезокерамик различных составов, используемых для пьезоэлектрических генераторов повышенной мощности / В. А. Акопьян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 37-41 : табл., рис. - Библиогр. : с. 41 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЬЕЗОКЕРАМИКА -- СЖАТИЕ ОДНООСНОЕ -- НАПРЯЖЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ ВЫХОДНОЕ -- ГЕНЕРАТОРЫ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- КОНСТАНТЫ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований влияния амплитуд сжимающих напряжений на значение пьезоэлектрических констант и на генерируемый пьезоэлементами электрический заряд. Показано, что наибольшая стабильность выходного электрического напряжения имеет место у пьезоэлементов из керамики, спеченной по горячепрессованной технологии, в частности у пьезокерамики ПКР-78. Установлено, что среди основных параметров, характеризующих стабильность выходной мощности nьезогенераторов наиболее достоверным является пьезомодуль d33 сегнетокерамического материала |
М 35 Матюшкин, И. В. Оценка времени деградации заряда на нанокристаллах Si в элементах флэш-памяти / И. В. Матюшкин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 34-41 : рис. - Библиогр. : с. 41 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВРЕМЯ ДЕГРАДАЦИИ -- УРОВЕНЬ ФЕРМИ -- ПАМЯТЬ ЭНЕРГОЗАВИСИМАЯ -- НАНОКРИСТАЛЛЫ КРЕМНИЯ (NC-SI) Аннотация: В рамках (2n + 1)-уровневой (n = 4) модели зонной структуры нанокристалла Si, несущего заряд, рассмотрено положение уровня Ферми. Показано, что типичное время утечки заряда на подложку составляет: для электронов зоны проводимости менее 10 с (до микросекунд в зависимости от толщины туннельного SiO2), для электронов на ловушке около 10 лет и выше |
О-75 Особенности строения и перспективы использования пленок Ленгмюра—Блоджетт жестко-цепного полиимида / С. И. Голоудин, В. В. Лучинин, В. М. Пасюта, М. Б. Криштаб, М. Ф. Панов, В. В. Розанов, В. П. Склизкова, В. В. Кудрявцев, М. Р. Бакланов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 9-15 : табл., рис. - Библиогр.: с. 15 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИИМИД -- ЛЕНГМЮР—БЛОДЖЕТТ -- МЕМБРАНЫ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ ПОР Аннотация: Обсуждаются результаты исследования пленок Ленгмюра—Блоджетт преполимера полиимида — алкиламмонийной соли жесткоцепной полиамидокислоты и соответствующего полиимида, полученные методами эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, малоуглового рентгеновскогорассеяния и рентгеновской рефлектометрии. Показана эффективность использования наноразмерных полиимидных пленок для прецизионного снижения внутреннего напряжения в мембране из нитрида кремния, а также в качестве покрытий, стабилизирующих электретный заряд в структуре SiO—полиимид. Продемонстрирована высокая планаризующая способность рассматриваемых пленок |
Д 72 Драгунов, В. П. Трехэлектродная двухконденсаторная МЭМС со встроенным зарядом / В. П. Драгунов, В. Ю. Доржиев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 33-38. - Библиогр.: с. 38 (14 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЭНЕРГИИ -- ВСТРОЕННЫЙ ЗАРЯД -- ИЗВЛЕЧЕНИЕ ЭНЕРГИИ ИЗ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ -- МИКРОМОЩНЫЙ ГЕНЕРАТОР Аннотация: Представлен анализ особенностей функционирования трехэлектродной двухконденсаторной МЭМС со встроенным зарядом, преобразующей энергию механических колебаний в электрическую. Анализ проводился с учетом взаимного влияния электрических и механических сил. Получены аналитические выражения, позволяющие оценить предельные параметры и рассчитать основные характеристики системы при гармоническом и ступенчатом характере вынуждающей силы. Показано, что такие МЭМС при возбуждении низкочастотными колебаниями могут развивать удельную мощность порядка 10 мкВт/см 2 |