Н 74 Новое поколение Российснких установок электронно-лучевого напыления / С. Александров [и др.] // Наноиндустрия. - 2009. - № 2. - С. 10-12 : ил. - Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАПЫЛЕНИЕ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ ЛУЧ -- ИСПАРИТЕЛИ |