О-62 Оптимизация конструкции чувствительного элемента давления с распределенным жестким центром с помощью компьютерного трехмерного моделирования / А. И. Артемова, Ю. А. Михайлов, В. В. Панков, В. С. Суханов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 34-37 : граф. - Библиогр.: с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ (ЧЭ) -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ -- ЖЕСТКИЙ ЦЕНТР -- КОНЕЧНО-ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ Аннотация: Представлен метод оптимизации конструкции кремниевого чувствительного элемента (ЧЭ) давления с распределенным жестким центром. С помощью компьютерного трехмерного моделирования были созданы несколько конструкций ЧЭ с различными вариантами исполнения жесткого центра. С помощью программного комплекса ANSYS было проведено моделирование конструкций ЧЭ при разных приложенных давлениях методом конечных элементов. Полученные выходные значения чувствительности и нелинейности характеристики позволяют сравнить конструкции ЧЭ и выбрать наиболее оптимальный вариант исполнения изделия |