С 56 Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций |
М 92 Мухуров, Н. И. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами. |
М 84 Мостовые конструкции из композитов / А. Е. Ушаков [и др.] // Композиты и наноструктуры. - 2009. - № 3. - С. 25-37 : рис., табл. - Библиогр. : с. 36-37 (13 назв.) . - ISSN 1999-7590 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОМПОЗИТЫ ПОЛИМЕРНЫЕ -- УГЛЕПЛАСТИКИ -- МОСТЫ КОМПОЗИТНЫЕ -- НАНОЧАСТИЦЫ МЕДИ |
А 67 Анизогридные композитные сетчатые конструкции - разработка и приложение к космической технике / В. В. Васильев [и др.] // Композиты и наноструктуры. - 2009. - № 3. - С. 38-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1999-7590 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОМПОЗИТЫ -- КОНСТРУКЦИИ СЕТЧАТЫЕ -- АНАЛИЗ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ |
М 92 Мухуров, Н. И. Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15 : рис., табл. - Библиогр. : с. 15 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- МИКРОСКАНЕРЫ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИИ -- ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ |
М 91 Мустафаев, Г. А. Влияние конструкции на характеристики субмикронных кни моп-транзисторов / Г. А. Мустафаев, Аб. Г. Мустафаев, Ар. Г. Мустафаев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7. - С. 8-12 : табл., рис. - Библиогр. : с. 12 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- МОП-ТРАНЗИСТОР Аннотация: Проведено моделирование КНИ МОП-транзисторов с различной конструкцией затворной композиции. Исследована зависимость подпороговых характеристик КНИ МОП-транзисторов от геометрических размеров базовой области, длины и ширины канала, толщины подзатворного оксида и уровня легирования канала |
А 94 Штенников, В. Н. Методика обеспечения требуемой температуры контактной пайки / М. С. Афанасьев, А. Ю. Митягин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 30-32 : рис. - Библиогр. : с. 32 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА ПАЙКИ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ПРИБОР Аннотация: Качество паяных соединений электронных компонентов в первую очередь зависит от температуры пайки. Стандартные режимы монтажа не гарантируют получение качественных паяных соединений уникальной конструкции. Автором статьи разработана и апробирована методика обеспечения требуемой температуры контактной пайки для соединений нетипичной конструкции |
С 40 Системы реологического типа для микро- и нанопозиционирования и виброизоляции / В. П. Михайлов, А. М. Базиненков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 45-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИСТЕМЫ ПОЗИЦИОНИРУЮЩИЕ И ВИБРОИЗОЛИРУЮЩИЕ -- ВЯЗКОСТЬ -- ЖИДКОСТИ МАГНИТО -И ЭЛЕКТРОРЕОЛОГИЧЕСКИЕ Аннотация: Современное прецизионное оборудование для электронных и машиностроительных технологий использует многокоординатные системы для сверхточного позиционирования. Представлены анализ, конструкции и параметры новых магнитореологических (МР), электрореологических (ЭР) и магнитореологических эластомерных (МЭ) позиционирующих устройств. Комбинация МР или ЭР замкнутого управления, упругих направляющих и тонкостенных герметизирующих элементов обеспечивает малую погрешность линейного (?100 нм) и углового (? 0,2") позиционирования, малую постоянную времени (? 200 мс), диапазон линейных перемещений по трем координатам X, Y, Z (1...10) мм и передаваемое усилие (1...1000) Н |
Н 41 Негров, Д. В. Элемент дисплейной матрицы на основе автоэмиссионного катода из терморасширенного графита / Д. В. Негров, А. С. Лейченко, Е. П. Шешин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 50-52 : рис. - Библиогр. : с.52 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭМИССИЯ АВТОЭЛЕКТРОННАЯ -- ОПТИКА ЭЛЕКТРОННАЯ -- МАТЕРИАЛЫ УГЛЕРОДНЫЕ Аннотация: Рассматривается автоэмиссионный катод латеральной конструкции из терморасширенного графита в качестве источника свободных электронов для катодо-люминесцентного прибора. За счет изменения конструкции электронно-оптической системы достигается значительное увеличение активной площади катода на единицу его геометрической площади. Проводится моделирование электронно-оптической системы |
Т 38 Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков / А. И. Белоус, И. В. Гасенкова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (6 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-НАПРЯЖЕНИЕ Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия |
В 94 Вычисление чувствительности балочного пьезогироскопа / В. Н. Митько, А. А. Панич [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 10 . - С. 48-50 : рис. - Библиогр. : с.50 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЬЕЗОГИРОСКОП -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ К ВРАЩЕНИЮ -- БИМОРФ Аннотация: Для балочной конструкции пьезогироскопа с помощью конечно-элементного моделирования рассчитывается чувствительность устройства к вращению |
И 88 Использование наноструктурных материалов и нанотехнологий для создания полых конструкций / О. Р. Валиахметов, Р. М. Галеев [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 1-2 . - С. 102-111. - Библиогр. : с. 111 (49 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КОНСТРУКЦИИ ПОЛЫЕ -- РАЗРАБОТА НАНОТЕХНОЛОГИЙ И НАНОМАТЕРИАЛОВ -- КОВКА ИЗОТЕРМИЧЕСКАЯ Аннотация: Сформулированы принципы получения наноструктурных объемных и листовых материалов методами всесторонней изотермической ковки и теплой прокатки. Первый метод, основанный на динамической рекристаллизации, позволяет получать объемные материалы с однородной наноструктурой, а второй - трансформировать их в листовые полуфабрикаты, сохраняя эту наноструктуру. На примере титанового сплава показано, что при уменьшении размера зерен в листовом материале до наноструктурного уровня такие технологические операции с ним, как сварка давлением и сверхпластическая формовка, становятся осуществимыми при существенно более низких температурах, чем в случае листового материала с обычной мелкозернистой структурой. Это открывает новые возможности для изготовления полых конструкций прогрессивным методом совмещения сварки давлением и сверхпластической формовки. На примере моделей полых лопаток демонстрируется разработка нанотехнологий и наноматериалов для последующего внедрения их в производство |
Е 80 Ершова, Е. В. Твердотельные солнечные батареи / Е. В. Ершова, К. Г. Овакимян, Д. В. Григорьев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 41-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БАТАРЕИ СОЛНЕЧНЫЕ ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- КОНЦЕНТРАТОРЫ -- ЛИНЗА фРЕНЕЛЯ Аннотация: Обобщаются лучшие в России результаты по высокоэффективному преобразованию энергии Солнца твердотельными гетероэпитаксиальными полупроводниковыми элементами. КПД таких батарей стабильно превышает 35 %, и видны пути его повышения. Рассмотрены и структура фотоэлемента, и конструкции солнечных ячеек, и контроль качества, а также выводы и перспективы развития солнечных модулей |
М 92 Мухуров, Н. И. Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР -- НАПРЯЖЕНИЕ -- ТОК -- ЗАРЯД -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции |
М 54 Метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 24-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА НЕСТАНДАРТНАЯ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ Аннотация: Предложен метод минимизации влияния нестационарных температур и виброускорений на датчики давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем. Рассмотрены пути симметрирования тепловых потоков и геометрических, физико-химических характеристик элементов конструкции при воздействии симметричного и асимметричного относительно оси упругого элемента НиМЭМС нестационарного температурного поля. Предложены конкретные реализации их элементов конструкций |
М 59 Микроэлектронные преобразователи давления для средств регулирования и мониторинга технологических процессов в энергосберегающих системах / Д. В. Гусев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕПЛОАВТОМАТИКА -- ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ Аннотация: Рассматриваются конструкции микроэлектронных преобразователей давления, выполненных на базе кремниевых структур. Приведена конструкция, обеспечивающая защиту микроэлектронного преобразователя от воздействия окружающей среды, а также варианты использования в системах теплоавтоматики |
О-53 Олейник, А. С. Регистрация лазерного излучения пленочными реверсивными средами на основе диоксида ванадия / А. С. Олейник, А. В. Федоров // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 5-6. - С. 120-129 : рис., табл. - Библиогр. : с. 129 (22 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИОКСИД ВАНАДИЯ -- СРЕДЫ ПЛЕНОЧНЫЕ РЕВЕРСИВНЫЕ -- ИЗЛУЧЕНИЕ ЛАЗЕРНОЕ Аннотация: В статье описаны пленочные реверсивные среды на основе диоксида ванадия Al-VO2-Д (диэлектрик) и VO2-Д (диэлектрик), реализующие изменение соответственно оптических и электрических свойств при фотоиндуцированном фазовом переходе полупроводник-металл (ФППМ). Среды получены путем окисления на воздухе напыленных в вакууме пленок ванадия. Приведены оптические, светотехнические параметры, а также разрешающая способность, дифракционная эффективность, энергетическая чувствительность среды Al-VO2-Д в зави- симости от характера лазерного излучения и указаны области ее применения (знакосинтезирующие индикаторы, визуализатор излучения, голографический транспарант). Определен термический гистерезис ФППМ в средах (величина скачка сопротивления, ширина петли гистерезиса) в зависимости от вариации технологии изготовления. Показано применение среды VO2-Д в качестве термочувствительного слоя теплового приемника излучения. Определена постоянная времени приемника, его чувствительность и фундаментальные шумы, ограничивающие чувствительность приемника. Приведены конструкции тепловых приемников излучения |
О-62 Оптимизация системы пьезоактуаторного гашения вибраций композитной лопасти вертолета / С. Н. Шевцов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 2-8 : рис. - Библиогр. : с 8 (19 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЬЕЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ -- ЛОПАСТЬ ВЕРТОЛЕТА -- ГАШЕНИЕ ВИБРАЦИЙ Аннотация: Выполнено сравнительное исследование эффективности подавления изгибных колебаний композитной балки, моделирующей лонжерон лопасти вертолета, с помощью одно- и двухслойных пьезоэлектрических пластин. Определены условия оптимального расположения и размеров пьезоактуаторных пластин на демпфируемой конструкции для подавления конфетной моды изгибных колебаний, а также условия эффективного подавления колебаний пьезопреобразователями, работающими в пассивном режиме |
К 17 Калюжный, Д. Г. Электрогидравлический манипулятор микроперемещений / Д. Г. Калюжный // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 91-93 : рис. - Библиогр. : с. 93 (4 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАНИПУЛЯТОР -- СКАНИРОВАНИЕ -- МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЕ -- НАНОПЛЕНКА -- НАПЫЛЕНИЕ -- ПРИВОД ГИДРАВЛИЧЕСКИЙ Аннотация: Разработано устройство, позволяющее производить дистанционное микроперемещение объектов. В основу разработки положено оптико-механическое устройство сканирования. Универсальный способ перемещения объектов позволяет изменять полный ход перемещения в широких пределах, сохраняя при этом минимальный шаг. В предложенной конструкции полный ход превышает 6 мм, минимальный шаг 0,0025 мм |
Г 59 Годовицын, И. В. Перспективная конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления / И. В. Годовицын // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 2-8 : рис., табл. - Библиогр. : с. 8 (32 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОбРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ Аннотация: Предлагается конструкция миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления на КНИ-структуре. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из полиметаллического кремния, что позволяет совместить в конструкции достоинства традиционных и миниатюрных преобразователей давления - высокую чувствительность и маленькие габаритные размеры. Доведен расчет основных параметров преобразователя с помощью конечно-элементного моделирования. Доведен анализ параметров предложенного преобразователя в сравнении с преобразователями других типов |