М 92 Мухуров, Н. И. Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР -- НАПРЯЖЕНИЕ -- ТОК -- ЗАРЯД -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции |