Г 69 Горнев, Е. С. Процесс реактивно-ионного травления контактных окон в смеси на основе C4F 8 для технологии менее 0,25 мкм / Е. С. Горнев, С. И. Янович // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 8. - С. 16-20 : граф., рис. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕАКТИВНО-ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- C4F8 -- КОНТАКТНЫЕ ОКНА -- 0, 25 МКМ Аннотация: Настоящая работа призвана показать, что при реактивно-ионном травлении в классических реакторах с вращающимся магнитным полем и использованием C 4F 8 в качестве основного травящего агента для травления контактных окон в технологических процессах создания интегральных схем с минимальными элементами от 0,25 мкм и менее не только применима, но и демонстрирует улучшение анализируемого процесса в отношении элементов с меньшими размерами. Кроме того, представленные в статье исследования могут быть полезны с методологической точки зрения при описании других процессов травления |