С 56 Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций |
У 59 Универсальный термочувствительный элемент для датчиков газового потока [Текст] / Н. А. Дюжев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 23-25 : рис. - Библиогр. : с. 25 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОТЕРМОАНЕМОМЕТР -- РАСХОДОМЕТРИЯ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ДАТЧИКИ РАСХОДА ГАЗА |
К 65 Конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей / В. В. Амеличев, С. С. Генералов, А. В. Якухина, С. В. Шаманаев, В. В. Платонов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 28-32. - Библиогр.: с. 32 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ -- МАТРИЦА -- МЭМС-КЛЮЧ -- МЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПЛАТА -- НИЗКООМНЫЕ ЭЛЕКТРОДЫ -- СИЛОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА Аннотация: Представлены конструкция и технология изготовления матрицы силовых микроэлектромеханических ключей. Рассмотрены основные конструктивные и технологические особенности создания кристалла МЭМС-ключа с электростатическим способом управления замыканием контактной группы. Определены перспективы применения матрицы силовых микроэлектромеханических ключей для коммутации постоянного и низкочастотного переменного тока в приборах средней мощности |