М 80 Морфология и структура углеродных нанотрубок, синтезированных на железном катализаторе в присутствии монооксида углерода / А. Г. Насибулин, С. Д. Шандаков, П. Р. Мудимела, Е. И. Кауппинен> // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5 , № 3-4. - С. 29-35 : рис. - Библиогр. : с. 35 (47 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ -- КАТАЛИЗАТОР ЖЕЛЕЗНЫЙ -- МОНООКСИД УГЛЕРОДА Аннотация: Данная статья посвящена обзору результатов, полученных нами при изучении процессов роста углеродных нанотрубок (УНТ) на различных подложках, используя железо в качестве катализатора и СО как источник углерода. В работе обсуждается три различных подхода для нанесения катализатора: металлизация распылением и синтез частиц, используя генератор раскаленной проволочки, и их ex situ и in situ осаждение. Показана возможность роста ультрадлинных, толстых одно- и двухслойных нанотрубок, а также упорядочивание УНТ по потоку. Изучено влияние диаметра однослойных УНТ на их деформацию на поверхности подложки. Кроме того, показана возможность управления количеством стенок УНТ в зависимости от экспериментальных условий. Обсуждается роль травящих агентов в ходе синтеза УНТ |
С 51 Смолин, В. К. Возможности оценки качества металлизации по стойкости к электромиграции / В. К. Смолин, В. А. Герасимов> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 17-20 : рис. - Библиогр. : с. 20 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ЭЛЕКТРОМИГРАЦИЯ -- ЭЛЕКТРОДИФФУЗИЯ -- СТРУКТУРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы, связанные с методами оценки качества тонкопленочной металлизации по стойкости к электрическим нагрузкам с высокой плотностью тока. Показаны особенности применения при операционном контроле металлизации детерминированных электрических импульсов |
К 59 Козин, И. А. Исследование динамики микроэлектромеханических устройств с нанесенной металлизацией / И. А. Козин, А. В. Постников, О. В. Морозов> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УСТРОЙСТВО МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ДОБРОТНОСТЬ -- КРЕПЛЕНИЕ УСТРОЙСТВА -- ПОТЕРИ ЭНЕРГИИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА Аннотация: Исследуется влияние тонкой пленки алюминия 0,3 мкм на динамические характеристики микроэлектромеханического устройства с двумя вращательными степенями свободы. Определены собственные частоты и добротности механической колебательной системы устройства. В работе обнаружено влияние способа крепления устройства к механической системе возбуждения. Показано, что добротность устройства с металлизацией достигает 15-20 тысяч, что достаточно для работы прибора в приложениях, и позволяет сократить число технологических операций при изготовлении |
О-62 Оптимизация процесса электрохимического осаждения меди в массивы углеродных нанотрубок / В. А. Галперин, П. К. Кондратьев, Д. Н. Зубов, Е. А. Кельм, А. А. Павлов> // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 15-19 : рис. - Библиогр.: с. 19 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕДЬ -- НАНОТРУБКА -- НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ -- УНТ -- ОСАЖДЕНИЕ МЕДИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ Аннотация: Описаны результаты исследований по электрохимическому осаждению меди в различные конфигурации массивов углеродных нанотрубок. Рассмотрены традиционные методы с использованием растворов CuSO 4 и CuCl 2 в качестве электролитов; выявлены их недостатки. Предложена новая методика с применением раствора электролита в виде метанольно-глицератного комплекса меди и проведен анализ влияния его концентрации на структуру синтезируемого материала |
С 34 Сивченко, А. С. Методики анализа основных характеристик надежности в КМОП ИС с помощью тестовых структур в составе пластин / А. С. Сивченко, Е. В. Кузнецов> // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 7-9 : граф. - Библиогр.: с. 9 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАДЕЖНОСТЬ -- ДЕФЕКТНОСТЬ -- ОТКАЗ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ИС -- ГОРЯЧИЕ НОСИТЕЛИ Аннотация: Представлены методики, позволяющие с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин определять время наработки до отказа линии металлизации и деградацию параметров МОП-транзисторов под действием горячих носителей. Также в работе представлена методика, позволяющая определять дефектность подзатворного диэлектрика |
Н 34 Научные основы беспаладиевой металлизации углеродного материала / Л. А. Рахметулина, С. М. Закирова, И. Ю. Гоц, Г. Г. Нечаев> // Нанотехнологии. Наука и производство. - 2014. - № 2 (29). - С. 31-34 . - ISSN 2306-0581 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БЕСПАЛАДИЕВАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ |