Э 94 Эффект резистивного переключения в оксидных пленках HfxAl 1 - xOy с переменным составом, выращенных методом атомно-слоевого осаждения / А. С. Батурин, К. В. Булах, И. П. Григал, К. В. Егоров, А. В. Заблоцкий, А. М. Маркеев, Ю. Ю. Лебединский, Е. С. Горнев, О. М. Орлов, А. А. Чуприк // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 13-18 : рис. - Библиогр.: с. 18 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ -- ЭФФЕКТ РЕЗИСТИВНОГО ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ -- ПЛЕНКИ ОКСИДНЫЕ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МЕТОДИКА РЕНТГЕНО-ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Аннотация: В качестве функционального диэлектрического слоя ячейки резистивной памяти ReRAMразработаны и выращены методом атомно-слоевого осаждения тонкие пленки трехкомпонентного оксида Hf xAl 1- xlO y с переменным (по глубине) содержанием Al. Выполнено неразрушающее профилирование оксидной пленки по глубине с использованием методики рентгено-фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением. В структурах металл—диэлектрик—металл TiN/Hf xAl 1- xO y/Pt и Pt/Hf xAl 1- xO y/TiN исследован эффект резистивного переключения |
К 68 Корреляция между структурными и биоактивными свойствами оксида титана, сформированного методом атомно-слоевого осаждения / А. А. Соловьев, Д. В. Овчинников, Е. В. Коростылев, А. М. Маркеев // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т.8, № 5-6. - С. 100-103 : табл., рис. - Библиогр.: с. 103 (8 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОКСИД ТИТАНА -- МЕТОД АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ -- МАТЕРИАЛЫ БИОАКТИВНЫЕ -- ИМПЛАНТАТ-КОСТЬ -- ПОКРЫТИЯ БИОСОВМЕСТИМЫЕ -- ПОКРЫТИЯ БИОАКТИВНЫЕ ИЗ TIO2 -- МОДИФИКАЦИЯ Аннотация: Биоактивные материалы используются из-за высокой скорости образования прочного контактного слоя на границе раздела имплантат-кость. Материалы и методы, используемые для создания и обработки медицинских имплантатов, обладают рядом существенных минусов. Создание биосовместимых покрытий методом атомно-слоевого осаждения может улучшить качество и срок службы имплантатов, а также защитить организм от вредных последствий подготовки поверхности имплантатов. В данной работе представлен структурный подход к выбору биосовместимых покрытий, а также приведена экспериментальная проверка теоретических предположений на новых биоактивных покрытиях из TiO2 различных кристаллических модификаций |