А 23 Агафонов, В. М. Измерительные устройства на основе молекулярно-электронного переноса в микро- и наноструктурах / В. М. Агафонов, В. Г. Криштон, М. В. Сафонов // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6 . - С. 47-53 : рис. - Библиогр. : с. 53 (22 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЭЛЕКТРОННАЯ -- ПЕРЕНОС МОЛЕКУЛЯРНО-ЭЛЕКТРОННЫЙ -- МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРЫ Аннотация: Важнейшим достоинством преобразователей, созданных на базе молекулярно-электронной технологии, является исключительно высокая крутизна преобразования механического сигнала в электpический ток. В основе действия приборов данного класса лежит принцип диффузионного переноса заряда в условиях вынужденной конвекции, возникающей действии внешнего ускоpе-ния. В данной работе показана возможность создания современных высокоточных микроакселерометров, основанных на молекулярно-электронном переносе (МЕТ - molecular-electron transfer) в наностpуктуpах |
М 59 Микроакселерометры на различные диапазоны измерения линейных ускорений для систем инерциальной навигации / С. П. Тимошенков, В. В. Калугин, Е. С. Кочурина, С. А. Анчутин, В. А. Калинин, К. А. Строганов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 32-35 : рис. - Библиогр.: с. 35 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ЕМКОСТНОЙ -- МЭМС -- МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРЫ Аннотация: Рассмотрены микромеханические акселерометры, имеющие потенциально широкую область применения. Разработаны микроакселерометры с емкостной системой измерения перемещений чувствительного элемента, достоинством которой является высокая чувствительность, простота конструкции и технологии изготовления |