А 95 Ахметов, Д. Г. Микроэлектромеханические электростатические высокопроизводительные инжекторы микроструй жидкости [Текст] / Д. Г. Ахметов, Э. Г. Косцов, А. А. Соколов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 53-59 : рис. - Библиогр.: с. 59-60 (47 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОИНЖЕКТОРЫ -- МИКРОАКТЮАТОР -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОСТРУЙНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ |
Е 92 Ефремов, Г. И. Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов [Текст] / Г. И. Ефремов, Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ТРЕХЭЛЕКТРОДНАЯ СИСТЕМА -- МИКРОАКТЮАТОР |
О-93 Оценка влияния многоциклового изгиба на термодеформационные характеристики упруго-шарнирных балок тепловых микроактюаторов / Д. В. Козлов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 12 . - С. 22-25 : рис. - Библиогр. : с. 25 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР ТЕПЛОВОЙ -- БАЛКИ УПРУГОШАРНИРНЫЕ -- ПОЛИИМИД -- КРЕМНИЙ -- ТЕРМОДЕФОРМАЦИЯ НАЧАЛЬНАЯ И РАБОЧАЯ Аннотация: Предложена методика и проведена оценка влияния многоциклового изгиба на термодеформационные характеристики упруго-шарнирных балок тепловых микроактюаторов после воздействия заданного числа циклов нагружения. Показано, что угол термодеформации при нагревании микроактюатора после усталостных циклических испытаний в течение 5-106 циклов снижается приблизительно на 15 %, а после 3,2-107 - на 25 %. Предложенная методика и полученные результаты дают возможность оценивать жизнеспособность актюаторов и стабильность их характеристик в процессе эксплуатации, а также влияние "старения" балок на эти характеристики |
М 92 Мухуров, Н. И. Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР -- НАПРЯЖЕНИЕ -- ТОК -- ЗАРЯД -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции |
М 92 Мухуров, Н. И. Электростатический микроактюатор с расширенными функциональными возможностями / Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 27-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ -- ФУНКЦИИ УПРАВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ Аннотация: Предложена конструкция плоскопараллельного электростатического микроактюатора, выполняющего расширенный ряд независимых функций управления и контроля |