Л 65 Лихошерст, В. В. Контур жесткой обратной связи в микромеханических приборах и расчет его параметров [Текст] / В. В. Лихошерст, В. Я. Распоров // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 30-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ -- ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ |