И 88 Исследование теплопроводности плотных газов в микросистемах [Текст] / Д. В. Локтев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 29-31 : рис., табл. - Библиогр. : с. 31 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОНАГРЕВАТЕЛЬ -- ТЕРМОРЕЗИСТОР -- МЭМС |