И 36 Изделия микросистемной техники - термины и определения, классификация и обозначение типов [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 2-5 : табл. - Библиогр.: с. 5 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМИНЫ -- ОПРЕДЕЛЕНИЯ -- ПАРАМЕТРЫ -- МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА |
С 56 Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций |
Г 69 Горнев, Е. С. Датчики становятся меньше, функциональнее и умнее... / Е. С. Горнев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 5. - С. 18-28 : ил. - Библиогр. : с. 28 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- ПРОГРАММА РАЗВИТИЯ |