М 92 Мухуров, Н. И. Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15 : рис., табл. - Библиогр. : с. 15 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- МИКРОСКАНЕРЫ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИИ -- ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ |