В 68 Волохов, И. В. Исследование технологий получения многослойных гетероструктур с применением различных методов осаждения в вакууме изолирующих покрытий на корпусные элементы датчико-преобразующей аппаратуры для авиационно-космической техники / И. В. Волохов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 1. - С. 30-39. - Библиогр.: с. 39 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНОЛОГИЯ ПРИБОРОСТРОЕНИЯ -- ДАТЧИК -- ТУГОПЛАВКИЕ ОКСИДЫ -- МНОГОСЛОЙНАЯ ГЕТЕРОСТРУКТУРА -- МЕТАЛЛИЧЕСКАЯ ПОДЛОЖКА -- ОСАЖДЕНИЕ В ВАКУУМЕ Аннотация: Представлены основные результаты экспериментальной отработки технологических режимов получения многослойных тест-структур с применением различных методов осаждения в вакууме изолирующих покрытий из тугоплавких оксидов и нитридов для корпусных элементов датчико-преобразующей аппаратуры, применяемой в авиационно-космической технике. |