С 56 Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций |
Ш 89 Штенников, В. Н. Проблемы минимизации времени контактной и лазерной пайки [Текст] / В. Н. Штенников> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 18-20 : рис. - Библиогр. : с. 20 (14 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРИБОР -- СБОРКА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МСТ -- ПАЙКА -- КАЧЕСТВО |
Ш 89 Штенников, В. Н. К вопросу развития научного направления по пайке электронных приборов / В. Н. Штенников> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 3. - С. 30-31 : рис. - Библиогр. : с. 31 (13 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРИБОР -- СБОРКА -- МСТ -- КАЧЕСТВО -- ПАЙКА -- ТЕМПЕРАТУРА |
К 89 Кузнецова, М. А. Формирование карбидокремниевых автоэмиссионных острий методом остросфокусированного ионного пучка / М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 35-40 : рис., табл. - Библиогр.: с. 40 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПУЧОК ИОННЫЙ -- ДИОД -- ТРАВЛЕНИЕ ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОЕ -- ЭМИССИЯ АВТОЭЛЕКТРОННАЯ -- КАРБИД КРЕМНИЯ Аннотация: Представлены результаты комплексного анализа возможностей и ограничений на применение остросфокусированного ионного пучка для объектов микросистемной техники (МСТ) и различных методов исследований. Детально проанализированы особенности применения данной технологии на примере создания карбидокремниевых автоэмиссионных острий и диодных структур на их основе |
А 90 Аскерко, А. Н. Испытания и тестирование микроэлектромеханических компонентов и систем на их основе / А. Н. Аскерко, О. С. Бохов, В. В. Лучинин> // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 49-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИСПЫТАНИЯ МЭМС -- ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МСТ-КОМПОНЕНТЫ Аннотация: Рассмотрены современное состояние рынка микросистемной техники, особенности комплектования аппаратуры МСТ-компонентов, метрологическое обеспечение и стандартизация. Обобщены вопросы испытаний, определения характеристик надежности электронной компьютерной базы микросистемной техники |
П 42 Повышение чувствительности микропреобразователя абсолютного давления на основе расчетно-аналитического моделирования изгиба мембраны и положения тензорезисторов / И. Б. Яшанин, И. В. Иевлев, С. В. Кононов, Р. Г. Азнабаев, В. А. Харитонов, Д. В. Бойченко, А. В. Гребенкина> // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 7-11 : рис. - Библиогр.: с. 11 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР -- МИКРОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- МИКРОМЕХАНИКА -- МСТ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- МОСТ УИНСТОНА -- ТЕНЗОРЕЗИСТОР ПОЛИКРЕМНИЕВЫЙ -- ПОЛИКРЕМНИЕВАЯ МЕМБРАНА -- МПАД Аннотация: Описан опыт использования анализатора микросистем для минимизации несоответствий между расчетными и реально получаемыми значениями чувствительности типового тензорезистивного микропреобразователя абсолютного давления, выполненного на основе базовой технологии поверхностной микромеханики |