И 88 Исследование микросистемы с использованием преобразователей магнитного поля / С. В. Никифоров, С. А. Поломошнов, Р. Д. Тихонов , А. А. Черемисинов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 36-37 : рис. - Библиогр.: с. 37 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- СИСТЕМА МИКРОЭЛЕКТРОМАГНИТНОМЕХАНИЧЕСКАЯ -- МЭММС -- МИКРОМАГНИТ -- МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЯ -- УСТРОЙСТВО МЕХАТРОННОЕ Аннотация: Проведено исследование макета микросистемы мехатронного устройства, изготовленного на магнитотранзисторных преобразователях. Установлено, что микросистема мехатронного устройства с кремниевой консолью, микромагнитом и магнитотранзисторным преобразователем позволяет проводить контроль микроперемещений и вибраций по изменению магнитного поля на резонансных частотах консоли с микромагнитом |