Я 96 Яшин , К. Д. Разработка МЭМС [Текст] / К. Д. Яшин , В. С. Осипович, Т. Г. Божко // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 28-34 : фото . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОЗЕРКАЛА -- МИКРОВЫКЛЮЧАТЕЛИ -- МИКРОДАТЧИКИ |
М 74 Мокров , Е. А. Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур [Текст] / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - Библиогр.: с. 65 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРИЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- МЭМС-СТРУКТУРА |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение устойчивости мэмс-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур [Текст] / Е. М. Белозубов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 2. - С. 63-66 : рис. - Библиогр.: с. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Методы и средства минимизации влияния нестационарных температур в МЭМС-структурах тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 28-34 : рис. - Библиогр.: с. 34 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС-СТРУКТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ |
Г 63 Гольцова, М. М. МЭМС: большие рынки малых устрйств [Текст] / М. М. Гольцова, В. А. Юдинцев // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 9-13 : рис. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- МЭМС -- МЭМС-УСТРОЙСТВА |
С 56 Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций |
С 92 Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков [Текст] / А. И. Белоус [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19 : рис., табл. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ КОНДЕНСАТОР -- МЭМС-ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СИЛ Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента |
В 12 Вавилов, В. Д. Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра [Текст] / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - Библиогр.: с. 29 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БЕЛЫЙ ШУМ -- МЭМС -- НУЛЕВОЙ УРОВЕНЬ Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. ЕБелозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 41-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМОСТОЙКОСТЬ -- МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ |
С 56 Современные разработки МЭМС [] / К. Д. Яшин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64 : рис. . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАЗРАБОТКИ МЭМС -- ANALOG DEVICES -- ANSYS -- ГРУППА EVG -- INTELLIGENT MICRO PATTERING -- MEM RESEARCH -- MEMS ENGINEERING AND MATERIAL -- PLANAR -- VAISALA |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, Ю. А. Козлова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 33-36 : рис. - Библиогр.: с. 36 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ВИБРОУСКОРЕНИЯ -- ВЫВОДНОЙ ПРОВОДНИК -- КОНТАКТНАЯ ПЛОЩАДКА -- ЭЛЕКТРОД -- ИЗМЕРЕНИЕ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ |
Е 92 Ефремов, Г. И. Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов [Текст] / Г. И. Ефремов, Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ТРЕХЭЛЕКТРОДНАЯ СИСТЕМА -- МИКРОАКТЮАТОР |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с минимизацией влияния температур для датчиков давления [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-СТРУКТУРЫ С ВОЗМОЖНОСТЬЮ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУР ЭЛЕКТРОДОВ |
Б 61 Биморфный пьезоэлектрический двигатель для МЭМС на основе GaAs [Текст] / Е. А. Вопилкин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 10. - С. 47-51 : рис. - Библиогр.: с. 51 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БИМОРФ -- ПЬЕЗОДВИГАТЕЛЬ -- МИКРОКОНСОЛЬ |
И 88 Исследование теплопроводности плотных газов в микросистемах [Текст] / Д. В. Локтев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 29-31 : рис., табл. - Библиогр. : с. 31 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОНАГРЕВАТЕЛЬ -- ТЕРМОРЕЗИСТОР -- МЭМС |
Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44 : рис., табл. - Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НЭМС -- СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- АКТЮАТОРЫ |
М 92 Мухуров, Н. И. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами. |
Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (25 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- НЭМС -- ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ -- ДЕТЕКТОРЫ -- ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ -- МАСШТАБНЫЕ ЭФФЕКТЫ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ -- ШУМЫ -- СПЕКТРАЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ ФЛУКТУАЦИЙ Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем. |
М 59 Микровибрации конструкций капитальных строений как источник возобновляемой энергии для МЭМС-генераторов [Текст] / В. С. Соболев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1. - С. 42-47 : рис. - Библиогр.: с. 47 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭНЕРГОЕМКОСТЬ -- ВИБРОПЕРЕМЕЩЕНИЕ |
Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39 : рис. - Библиогр. : с. 38 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (ТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ МЭМС (ТТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС (ТЕМЭМС) -- ОБОБЩЕННАЯ СИСТЕМНАЯ МОДЕЛЬ |