Э 45 Электростатический МЭМС-ключ на структуре кремний—стекло / В. В. Платонов, С. С. Генералов, В. И. Смехова, В. В. Амеличев, С. А. Поломошнов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 7. - С. 43-47 : рис. - Библиогр.: с. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИМЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ -- МЭМС-КЛЮЧ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ -- СТРУКТУРА КРЕМНИЙ—СТЕКЛО -- НАПРЯЖЕНИЕ РАБОЧЕЕ Аннотация: Рассмотрены основные преимущества МЭМС-переключателей. Приведены результаты реализации конструкции кремний—стекло с балочным креплением подвижных электродов, не имеющей в технологии изготовления операцию удаления жертвенного слоя. Представлены основные результаты исследования разработанных МЭМС-ключей |