О-62 Оптически прозрачные теплостойкие нанокомпозиты на основе эпоксидной смолы и оксида кремния / В. К. Скачкова, А. В. Любимов, Г. В. Любимова, М. Н. Гусев, А. В. Грачев, В. М. Лалаян, А. Ю. Шаулов, А. А. Берлин // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 1-2. - С. 82-86 : рис., табл. - Библиогр.: с. 86 (10 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКОМПОЗИТЫ -- НАНОКОМПОЗИТЫ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫЕ ТЕПЛОСТОЙКИЕ -- ОКСИД КРЕМНИЯ -- СМОЛА ЭПОКСИДНАЯ -- НАНОЧАСТИЦЫ SIO2 -- НАНОНАПОЛНИТЕЛЬ -- ТЕПЛОСТОЙКОСТЬ -- ТЕРМОДЕСТРУКЦИЯ -- КРЕМНИЙ Аннотация: Исследован процесс отверждения композиций диэпоксида 3,4-эпоксициклогексилметил-3,4-эпоксициклогексан карбоксилата, наночастиц SiO2 с привитыми глицидиловыми группами и отвердителя на основе метилтетрагидрофталевого ангидрида. Показано, что в присутствии нанонаполнителя могут быть получены оптически прозрачные эпоксидные композиты с повышенной теплостойкостью, Тразм. которых совпадает с началом термодеструкции при 325 °С |
А 13 Абдуллаев, Д. А. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния относительно оксида кремния / Д. А. Абдуллаев, А. А. Зайцев, Е. А. Кельм // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 2. - С. 17-19. - Библиогр.: с. 17 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ (ПХТ) -- СЕЛЕКТИВНОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ОКСИД КРЕМНИЯ -- ПАССИВАЦИОННЫЕ СЛОИ -- ИНТЕГРАЛЬНАЯ МИКРОСХЕМА (ИМС) Аннотация: Представлены результаты серии экспериментов по определению параметров селективного плазмохимического травления нитрида кремния относительно оксида кремния |